- Tytuł:
-
Wybrane zastosowania ukłądów MEMS w pomiarach wielkości mechanicznych
Selected MEMS applications for mechanical values measurements - Autorzy:
- Bojko, T.
- Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/151829.pdf
- Data publikacji:
- 2003
- Wydawca:
- Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
- Tematy:
-
układy MEMS
pomiary wielkości mechanicznych
MEMS aplications
mechanical values measurements - Opis:
-
W artykule przedstawiono wybrane zastosowania dostępnych układów MEMS (Micro-Electro-Mechanical-Systems) do pomiarów wielkości mechanicznych. W artykule opisano podstawy, podstawowe technologie oraz aktualny stan wykorzystania układów MEMS. Jako przykład zastosowania układów MEMS opisano system do pomiarów przyśpieszeń wyposażony w interfejs sieci CAN.
In this paper applications of available MEMS microchip for mechanical values measurement are presented. Brief introduction to MEMS technology, basic MEMS manufacturing procesess and application of MEMS structures in measurements are described. As an example of application of the MEMS an accelerometer equiped with CAN bus is presented. - Źródło:
-
Pomiary Automatyka Kontrola; 2003, R. 49, nr 11, 11; 33-35
0032-4140 - Pojawia się w:
- Pomiary Automatyka Kontrola
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł