Wybrane zastosowania ukłądów MEMS w pomiarach wielkości mechanicznych

W artykule przedstawiono wybrane zastosowania dostępnych układów MEMS (Micro-Electro-Mechanical-Systems) do pomiarów wielkości mechanicznych. W artykule opisano podstawy, podstawowe technologie oraz aktualny stan wykorzystania układów MEMS. Jako przykład zastosowania układów MEMS opisano system do pomiarów przyśpieszeń wyposażony w interfejs sieci CAN.

In this paper applications of available MEMS microchip for mechanical values measurement are presented. Brief introduction to MEMS technology, basic MEMS manufacturing procesess and application of MEMS structures in measurements are described. As an example of application of the MEMS an accelerometer equiped with CAN bus is presented.