- Tytuł:
-
System do pomiaru ugięcia belek krzemowych stosowanych w mikroczujnikach
System for the silicon beam deflection measurements in microsensor - Autorzy:
- Gołębiowski, J.
- Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/151634.pdf
- Data publikacji:
- 2008
- Wydawca:
- Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
- Tematy:
-
mikro-belki krzemowe
przetworniki optoelektroniczne
silicon microbeam
optoelectronic transducers - Opis:
-
W pracy przedstawiono system do pomiaru ugięcia mikrobelki krzemowej. System składa się z części optycznej oraz sterownika i komputera. Omówiono zasadę działania systemu oraz przeanalizowano dobór parametrów układu do pomiaru niewielkich ugięć rzędu mikrometrów. Przedstawiono oprogramowanie pozwalające na wizualizację aktualnego położenia belki. Zamieszczono wyniki badań oraz określono przydatność systemu do pomiaru niewielkich ugięć.
The system for the measurement of silicon microbeam deflection is presented. It consists of an optical part, a controller and a computer. The principle of the system in operation and the parameter selection for the measurements of the small (micrometers) deflections are described and analysed. The program which allows visualizing the current beam location is also presented. The results show the system usefulness for the micrometer deflection measurements. - Źródło:
-
Pomiary Automatyka Kontrola; 2008, R. 54, nr 9, 9; 631-633
0032-4140 - Pojawia się w:
- Pomiary Automatyka Kontrola
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł