System do pomiaru ugięcia belek krzemowych stosowanych w mikroczujnikach

W pracy przedstawiono system do pomiaru ugięcia mikrobelki krzemowej. System składa się z części optycznej oraz sterownika i komputera. Omówiono zasadę działania systemu oraz przeanalizowano dobór parametrów układu do pomiaru niewielkich ugięć rzędu mikrometrów. Przedstawiono oprogramowanie pozwalające na wizualizację aktualnego położenia belki. Zamieszczono wyniki badań oraz określono przydatność systemu do pomiaru niewielkich ugięć.

The system for the measurement of silicon microbeam deflection is presented. It consists of an optical part, a controller and a computer. The principle of the system in operation and the parameter selection for the measurements of the small (micrometers) deflections are described and analysed. The program which allows visualizing the current beam location is also presented. The results show the system usefulness for the micrometer deflection measurements.