Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Wyszukujesz frazę "Gozzo, F." wg kryterium: Autor


Wyświetlanie 1-1 z 1
Tytuł:
Soft X-Ray Spectromicroscopy and its Application to Semiconductor Microstructure Characterization
Autorzy:
Gozzo, F.
Franck, K.
Howells, M. R.
Hussain, Z.
Warwick, A.
Padmore, H. A.
Triplett, B. B.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/1963346.pdf
Data publikacji:
1997-04
Wydawca:
Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
Tematy:
61.16.-d
85.40.-e
79.60.-i
Opis:
The universal trend towards device miniaturization has driven the semiconductor industry to develop sophisticated and complex instrumentation for the characterization of microstructures. Many significant problems of relevance to the semiconductor industry cannot be solved with conventional analysis techniques, but can be addressed with soft X-ray spectromicroscopy. An active spectromicroscopy program is being developed at the Advanced Light Source, attracting both the semiconductor industry and the materials science academic community. Examples of spectromicroscopy techniques are presented. An Advanced Light Source μ-XPS spectromicroscopy project is discussed, involving the first microscope completely dedicated and designed for microstructure analysis on patterned silicon wafers.
Źródło:
Acta Physica Polonica A; 1997, 91, 4; 697-705
0587-4246
1898-794X
Pojawia się w:
Acta Physica Polonica A
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
    Wyświetlanie 1-1 z 1

    Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies