The universal trend towards device miniaturization has driven the semiconductor industry to develop sophisticated and complex instrumentation for the characterization of microstructures. Many significant problems of relevance to the semiconductor industry cannot be solved with conventional analysis techniques, but can be addressed with soft X-ray spectromicroscopy. An active spectromicroscopy program is being developed at the Advanced Light Source, attracting both the semiconductor industry and the materials science academic community. Examples of spectromicroscopy techniques are presented. An Advanced Light Source μ-XPS spectromicroscopy project is discussed, involving the first microscope completely dedicated and designed for microstructure analysis on patterned silicon wafers.
Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies
Informacja
SZANOWNI CZYTELNICY!
UPRZEJMIE INFORMUJEMY, ŻE BIBLIOTEKA FUNKCJONUJE W NASTĘPUJĄCYCH GODZINACH:
Wypożyczalnia i Czytelnia Główna: poniedziałek – piątek od 9.00 do 19.00