Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Wyszukujesz frazę "widmo IR" wg kryterium: Temat


Wyświetlanie 1-10 z 10
Tytuł:
Symulacja widm absorpcyjnych azobenzenu i jego pochodnych
Spectra visualization of azobenzene and its derivatives
Autorzy:
Połubok, A.
Kaczmarek, H.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/2072290.pdf
Data publikacji:
2013
Wydawca:
Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
Tematy:
azobenzen
widmo UV-Vis
widmo IR
azobenzene
UV-Vis spectra
IR spectra
Opis:
Wykonano wizualizację widm absorpcyjnych azobenzenu i jego pochodnych na superkomputerze NOVA. Uzyskane dane: energia poszczególnych stanów wzbudzonych, energia pobudzenia i siła oscylatorów pozwoliły wnioskować o położeniu i intensywności pasm w widmie UV-Vis, Na podstawie częstości drgań harmonicznych wyznaczono widmo IR. Otrzymane widmo dobrze pokrywa się z danymi literaturowymi. Możliwość generowania kształtu widm jest użyteczna w przypadku trudności w ich rejestracji metodami tradycyjnymi.
Visualization of azobenzene spectra and its derivatives using numerical simulation on the NOVA supercomputer was carried out. Data obtained, such as calculating energy of individual excited states, energy stimulation and oscillator strength enabled one to find a position and intensity of bands in UV-Vis spectra. The IR spectra were determined on basis of harmonic vibration frequency. The obtained spectra corresponded quite well with literature data thus offering alternative for the application of traditional methods.
Źródło:
Inżynieria i Aparatura Chemiczna; 2013, 5; 469--470
0368-0827
Pojawia się w:
Inżynieria i Aparatura Chemiczna
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Study of Ionic Liquids UV-VIS and FTIR Spectra before and after Heating and Spruce Groundwood Dissolution
Badanie widm UV-VIS i FT-IR cieczy jonowych przed i po ogrzewaniu oraz wprowadzeniu ścieru świerkowego
Autorzy:
Danielewicz, Dariusz
Kmiotek, Magdalena
Surma-Ślusarska, Barbara
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/232746.pdf
Data publikacji:
2019
Wydawca:
Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Biopolimerów i Włókien Chemicznych
Tematy:
ionic liquids
UV spectrum
IR spectrum
heating
groundwood
dissolution
ciecz jonowa
widmo UV
widmo IR
ogrzewanie
rozpuszczanie
Opis:
The absorption of 1-butyl-3-methylimidazolium chloride and acetate taken from commercial packaging was studied by means of UV-VIS and infrared spectroscopy with some differences observed. Further research showed that heating both 1-butyl-3-methylimidazolium chloride and acetate alone, as well as in the presence of wood pulp, causes the darkening of these ionic liquids. Changes in the colour of ionic liquids associated with a variation in the absorption characteristics of pure ionic liquids and wood solutions in these liquids in UV and visible light are expressed primarily in the widening of the absorption bands. The presence of coloured products formed during their heating, as well as dissolution of the chemical components of wood in ionic liquids, had relatively little effect on the position of individual absorption bands in the spectrum obtained by the FT-IR method. The small differences in the absorption of spruce groundwood solutions in ionic liquids in IR as compared to pure ionic liquids suggest that strong chromophore groups in ionic liquids are created without serious reconstruction of their structure.
W pracy zbadano absorpcję chlorku i octanu 1-butylo-3-metyloimidazoliowego za pomocą spektroskopii UV-VIS i spektroskopii w podczerwieni (FT-IR), zaobserwowano pewne różnice. Dalsze badania wykazały, że zarówno ogrzewanie samego chlorku lub octanu 1-butylo-3-metyloimidazoliowego, jak i ogrzewanie cieczy jonowych, w których rozpuszczono ścier drewna świerkowego, powoduje ciemnienie tych cieczy jonowych. Zmiany barwy cieczy jonowych, związane ze zmianą charakterystyki absorpcji czystych cieczy jonowych i roztworów drewna w tych cieczach w świetle UV i widzialnym wyrażają się przede wszystkim w poszerzaniu pasm absorpcji. Obecność barwionych produktów ogrzewania badanych cieczy jonowych, jak również rozpuszczanie w nich chemicznych składników drewna, wywiera stosunkowo niski wpływ na położenie poszczególnych pasm absorpcji w widmie uzyskanym metodą FT-IR. Niewielkie różnice w widmach FT-IR cieczy jonowych, zawierających rozpuszczony ścier świerkowy w porównaniu z czystymi cieczami jonowymi, mogą wynikać z małego stężenia ścieru w tych cieczach jonowych.
Źródło:
Fibres & Textiles in Eastern Europe; 2019, 1 (133); 118-123
1230-3666
2300-7354
Pojawia się w:
Fibres & Textiles in Eastern Europe
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Charakterystyka spektralna mezoporowatych węgli z nanocząstkami Ag, Au, TiO2 i Fe3O4
Spectral characterization of mesoporous carbons modified by Ag, Au, TiO2 and Fe3O4 nanoparticles
Autorzy:
Garnuszek, M.
Szczepanik, B.
Gawinkowski, S.
Słomkiewicz, P.
Witkiewicz, Z.
Jedynak, K.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/236858.pdf
Data publikacji:
2012
Wydawca:
Polskie Zrzeszenie Inżynierów i Techników Sanitarnych
Tematy:
uporządkowany węgiel mezoporowaty
modyfikacja
nanocząstki
widmo IR
widmo FTIR
widmo Ramana
ordered mesoporous carbon
modification
nanoparticles
IR spectrum
FT-IR spectrum
Raman spectrum
Opis:
Określono możliwość zastosowania technik spektroskopowych do charakterystyki właściwości strukturalnych mezoporowatego węgla otrzymanego metodą miękkiego odwzorowania oraz zmodyfikowanego za pomocą nanocząstek Ag, Au, TiO2 i Fe3O4. Charakterystykę spektralną próbek otrzymanych węgli przeprowadzono techniką spektroskopii IR, FTIR oraz Ramana. Podczas syntezy materiałów węglowych w środowisku kwasowym zastosowano rezorcynol i formaldehyd jako prekursory węglowe w obecności kopolimeru trójblokowego Lutrol F127. Wyniki badań spektralnych wykazały, że zastosowane metody syntezy mezoporowatych węgli pozwoliły na uzyskanie materiałów węglowych o odtwarzalnej budowie. Modyfikacja powierzchni węgla badanymi nanocząstkami spowodowała wyraźne zmiany w widmach Ramana, FTIR i IR kompozytów węglowych, przy czym na zmianę ich właściwości najsilniej wpłynęły tlenki metali. Widma te pokazały również, że w strukturze otrzymanych materiałów węglowych pojawiły się uporządkowane fragmenty grafenowe podobne do tych, jakie występują w nanorurkach węglowych.
The structural properties of mesoporous carbons modified by Ag, Au, TiO2 and Fe3O4 nanoparticles were studied using IR, FT-IR and Raman spectroscopy. The carbon materials were prepared by the soft-templating method in an acidic medium, with resorcinol and formaldehyde as the carbon precursors and triblock copolymer Lutrol F127 as a soft template. Spectral analysis has revealed that these carbons are characterized by a repeatable structure. The modification of the carbon surface by the nanoparticles examined has caused some noticeable changes in the Raman, FT-IR and IR spectra of the carbon composites, and most of the influence on the modification of the surface comes from metal oxides. The spectra have also shown that the carbon materials tested contain some ordered fragments of graphene structures similar to those occurring in carbon nanotubes.
Źródło:
Ochrona Środowiska; 2012, 34, 4; 17-22
1230-6169
Pojawia się w:
Ochrona Środowiska
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Dynamics of oil oxidation in bi-fuel engine (petrol + LPG) on the grounds of IR spectrum
Dynamika utleniania oleju w silniku zasilanym dwupaliwowo (benzyna + LPG) na podstawie widm IR
Autorzy:
Maciąg, A.
Olszewski, W.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/244167.pdf
Data publikacji:
2008
Wydawca:
Instytut Techniczny Wojsk Lotniczych
Tematy:
olej silnikowy
eksploatacja
termooksydacja
widmo IR
liczba zasadowa
motor oil
maintenance
thermooxidation
IR spectrum
TBN
Opis:
During oil running in engine proceed in it negative chemical and physical processes named oil deterioration as a result conduct to replace motor oil. This process is caused by oil contamination; wear and tear improvements of oil and termooxidation. Result of these changes is characteristic signals corresponding with specified wavelength in absorption spectrum IR. Analysis of these spectrums gives essential information concerning dynamics of deterioration oil process in engine. Results measurement of total absorbance in IR spectral range in LOTOS SYNTETIC SAE 5W/40 API SJ/CF/EC oil sampled during running from a personal car in range 0-32 tys. km was presented in this article. Additional analysis is subjected an examination in a band 1828 - 1516 cm -1 because in this band absorb mainly oxygen groups (hydroxyl, ketone, aldehyde, carboxyl, ether, ester) which are formatted resulting oxidation oil during running. As a result of our tests it was stated high correlation total absorbance in bands 1828-1516 cm-1, 1748-1712 cm-1, 1656-1596 cm-1, 1600-1556 cm-1 with period time of the oil and chosen normative parameters for example TBN. It was also stated occurrence three periods of different growth dynamics of oxygen compounds concentration in oil testifying to ageing process in it.
Źródło:
Journal of KONES; 2008, 15, 2; 269-275
1231-4005
2354-0133
Pojawia się w:
Journal of KONES
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Analysis spectrum absorption of used Lotos synthetic SAE 5W/40 API SJ/CF/EC oil
Analiza widm absorbcyjnych w podczerwieni (IR) eksploatowanego oleju lotos synthetic SAE 5W/40 API SJ/CF/EC oil
Autorzy:
Olszewski, W.
Maciag, A.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/242798.pdf
Data publikacji:
2007
Wydawca:
Instytut Techniczny Wojsk Lotniczych
Tematy:
olej silnikowy
eksploatacja
termooksydacja
widmo IR
liczba zasadowa
motor oil
maintenance
thermooxidation
IR spectrum
TBN
Opis:
During oil running in engine proceed in it negative chemical and physical processes named oil deterioration as a result conduct to replace motor oil. This process is caused by oil contamination; wear and tear improvements of oil and termooxidation. Result of these changes is characteristic signals corresponding with specified wavelength in absorbtion spectrum IR. Analysis of these spectrums gives essential information concerning dynamics of deterioration oil process in engine. Results measurement of total absorbancy in IR spectral range in LOTOS SYNTETIC Analiza widm absorbcyjnych w podczerwieni (IR) eksploatowanego oleju lotos synthetic SAE 5W/40 API SJ/CF/EC oil sampled during running from a personal car in range 0-25tys. km were presented in this article. Additional analysis is subjected an examination in a band 1800-1500 cm -1 because in this band absorb mainly oxygen groups (hydrohyl, ketone, aldehyde, carboxyl, ether, ester) which are formatted resulting oxidation oil during running. As a result of our tests it was stated high correlation total absorbancy in bands 1744-1516 cm -1, 1744-1700 cm -1 and 1700-1516 cm -1 with period time of the oil and chosen normative parameters for example TBN. It was also stated occurrence three periods of different growth dynamics of oxygen compounds concentration in oil testifying to ageing process in it.
Podczas pracy oleju smarowego w silniku spalinowym zachodzą w nim negatywne procesy chemiczne i fizyczne, które nazywane są ogólnie starzeniem i które w konsekwencji prowadzą do konieczności wymiany oleju smarowego. Czynniki powodujące ten proces to zanieczyszczenie oleju, zużywanie się dodatków uszlachetniających olej oraz termooksydacja. Efektem tych zmian w strukturze oleju silnikowego, są charakterystyczne sygnały odpowiadające określonym długościom fal w widmach absorbcyjnych w zakresie promieniowania podczerwonego (IR). Analiza tych widm może dostarczyć istotnych informacji dotyczących dynamiki procesu starzenia. W konsekwencji może być skuteczną metodą pozwalającą ustalić optymalny czas pracy oleju w silniku spalinowym. W referacie przedstawiono wyniki pomiarów absorbancji całkowitej w zakresie promieniowania IR w próbkach oleju LOTOS SYNTETIC Analiza widm absorbcyjnych w podczerwieni (IR) eksploatowanego oleju lotos synthetic SAE 5W/40 API SJ/CF/EC pobranych w czasie eksploatacji silnika samochodu osobowego w przedziale 0-25tys. km. Szerszej analizie poddano widmo w zakresie promieniowania 1800-1500 cm -1 gdyż w tym paśmie absorbują głównie grupy tlenowe (hydroksylowe, aldehydowe, , karboksylowe, eterowe, estrowe) powstające w wyniku procesów utleniania oleju w czasie eksploatacji. W przeprowadzonych badaniach stwierdzono bardzo wysoką korelację liniową całkowitej absorbancji w pasmach 1744-1516 cm -1, 1744-1700 cm -1 i 1700-1516 cm -1 z czasem pracy oleju oraz niektórymi badanymi parametrami normatywnymi np. liczbą zasadową, a także występowanie trzech różnych okresów charakteryzujące się różną dynamiką wzrostu stężenia związków tlenowych w oleju świadczących o postępującym procesie starzenia oleju smarowego.
Źródło:
Journal of KONES; 2007, 14, 4; 327-333
1231-4005
2354-0133
Pojawia się w:
Journal of KONES
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Analysis spectrum absorption of used LOTOS synthetic SAE 5W/40 API SJ/CF/EC oil
Autorzy:
Olszewski, W.
Maciąg, A.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/243607.pdf
Data publikacji:
2008
Wydawca:
Instytut Techniczny Wojsk Lotniczych
Tematy:
olej silnikowy
eksploatacja
termooksydacja
widmo IR
liczba zasadowa
motor oil
maintenance
thermooxidation
IR spectrum
TBN
Opis:
During oil running in engine proceed in it negative chemical and physical processes named oil deterioration as a result conduct to replace motor oil. This process is caused by oil contamination; wear and tear improvements of oil and termooxidation. Result of these changes is characteristic signals corresponding with specified wavelength in absorbtion spectrum IR. Analysis of these spectrums gives essential information concerning dynamics of deterioration oil process in engine. Results measurement of total absorbancy in IR spectral range in LOTOS SYNTETIC SAE 5W/40 API SJ/CF/EC oil sampled during running from a personal car in range 0-25tys. km were presented in this article. Additional analysis is subjected an examination in a band 1800-1500 cm -1 because in this band absorb mainly oxygen groups (hydrohyl, ketone, aldehyde, carboxyl, ether, ester) which are formatted resulting oxidation oil during running. As a result of our tests it was stated high correlation total absorbancy in bands 1744-1516 cm -1, 1744-1700 cm -1 and 1700-1516 cm -1 with period time of the oil and chosen normative parameters for example TBN. It was also stated occurrence three periods of different growth dynamics of oxygen compounds concentration in oil testifying to ageing process in it.
Podczas pracy oleju smarowego w silniku spalinowym zachodzą w nim negatywne procesy chemiczne i fizyczne, które nazywane są ogólnie starzeniem i które w konsekwencji prowadzą do konieczności wymiany oleju smarowego. Czynniki powodujące ten proces to zanieczyszczenie oleju, zużywanie się dodatków uszlachetniających olej oraz termooksydacja. Efektem tych zmian w strukturze oleju silnikowego, są charakterystyczne sygnały odpowiadające określonym długościom fal w widmach absorbcyjnych w zakresie promieniowania podczerwonego (IR). Analiza tych widm może dostarczyć istotnych informacji dotyczących dynamiki procesu starzenia. W konsekwencji może być skuteczną metodą pozwalającą ustalić optymalny czas pracy oleju w silniku spalinowym. W referacie przedstawiono wyniki pomiarów absorbancji całkowitej w zakresie promieniowania IR w próbkach oleju LOTOS SYNTETIC SAE 5W/40 API SJ/CF/EC pobranych w czasie eksploatacji silnika samochodu osobowego w przedziale 0-25tys. km. Szerszej analizie poddano widmo w zakresie promieniowania 1800-1500 cm -1 gdyż w tym paśmie absorbują głównie grupy tlenowe (hydroksylowe, aldehydowe, , karboksylowe, eterowe, estrowe) powstające w wyniku procesów utleniania oleju w czasie eksploatacji. W przeprowadzonych badaniach stwierdzono bardzo wysoką korelację liniową całkowitej absorbancji w pasmach 1744-1516 cm -1 , 1744+1700 cm -1 i 1700-1516 cm -1 z czasem pracy oleju oraz niektórymi badanymi parametrami normatywnymi np. liczbą zasadową, a także występowanie trzech różnych okresów charakteryzujące się różną dynamiką wzrostu stężenia związków tlenowych w oleju świadczących o postępującym procesie starzenia oleju smarowego.
Źródło:
Journal of KONES; 2008, 15, 3; 417-423
1231-4005
2354-0133
Pojawia się w:
Journal of KONES
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Wpływ dodatków CHO na zmianę składu warstwy wierzchniej śladu tarcia
The influence of CHO additives on the surface layer
Autorzy:
Pawelec, E.
Siwiec, E.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/189656.pdf
Data publikacji:
2013
Wydawca:
Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
Tematy:
dodatki CHO
kompozycje olejowe
właściwości przeciwzużyciowe
warstwa wierzchnia
widmo IR
CHO additives
oil compositions
antiwear properties
surface layer
IR spectrum
Opis:
Przedstawiono wyniki badania wpływu dodatków CHO, rozpuszczonych w oleju PAO4 i oleju Priolube, na zmianę składu warstwy wierzchniej śladu zużycia po testach tribologicznych w warunkach stałego obciążenia węzła tarcia. W tym celu wykonano analizy z zastosowaniem skaningowej mikroskopii elektronowej sprzężonej z mikroanalizą rentgenowską (SEM/EDS), spektroskopii FTIR i Ramana. W śladach tarcia stwierdzono większą niż to wynika ze składu stali zawartość węgla i tlenu, co może świadczyć o powstawaniu podczas tarcia związków organicznych zabezpieczających węzeł tarcia przed zużyciem.
The paper presents results of investigations of CHO additives, dissolved in the synthetic oils (PAO4 and Priolube), on the change of composition of the surface layer of the wear scar after the tribological tests under constant load. The analyses were performed using SEM/EDS technique, FTIR and Raman spectroscopy. The content of carbon and oxygen in the wear contact region has been higher than outside this region. It can be evidence of the formation of organic compounds during the friction protecting the tribosystem against wear.
Źródło:
Tribologia; 2013, 5; 77-86
0208-7774
Pojawia się w:
Tribologia
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Analiza powierzchni śladów tarcia po testach w obecności kompozycji smarowych z dodatkiem adhezyjnym
Analysis of wear scar surfaces after rubbing test with lubricants containing adhesion additive
Autorzy:
Pawelec, E.
Siwiec, E.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/189662.pdf
Data publikacji:
2015
Wydawca:
Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
Tematy:
dodatek adhezyjny
kompozycje olejowe
właściwości przeciwzużyciowe
warstwa wierzchnia
widmo IR
adhesion additives
oil compositions
antiwear properties
surface layer
IR spectrum
Opis:
Przedstawiono wyniki badania wpływu ekologicznego dodatku adhezyjnego rozpuszczonego w oleju mineralnym, roślinnym i oleju syntetycznym na zmianę składu warstwy wierzchniej śladu zużycia po testach tribologicznych prowadzonych w warunkach stałego obciążenia węzła tarcia w temperaturze 20°C i 100°C. Badanie struktury chemicznej warstw odłożonych na elementach węzła tarcia prowadzono za pomocą mikrospektrofotometru FTIR w oparciu o analizę struktury powstających związków. W śladach tarcia po testach prowadzonych w temperaturze 100°C dla kompozycji na bazie oleju naturalnego i syntetycznego stwierdzono występowanie silnych sygnałów charakterystycznych dla związków organicznych.
The paper presents the results of the environmental impact study of an adhesive additive, dissolved in the mineral, vegetable, and synthetic oils, on the change of the composition of the surface layer of the wear scar after the tribological tests under constant load at the temperature 20°C and 100°C. The investigation of the chemical structure of the layers deposited on elements of the friction was performed using a micro-spectrophotometer FTIR, based on the analysis of the structure of formed compounds. For compositions based on natural and synthetic oil, in the wear scars of the rubbing test at a temperature of 100°C, the strong signals characteristic for organic compounds were found.
Źródło:
Tribologia; 2015, 2; 103-113
0208-7774
Pojawia się w:
Tribologia
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Przemiany struktury smarów plastycznych po testach tribologicznych
Conversion of the structure of greases after tribological tests
Autorzy:
Pawelec, E.
Siwiec, E.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/188552.pdf
Data publikacji:
2013
Wydawca:
Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
Tematy:
smar plastyczny
właściwości przeciwzużyciowe
widmo IR
spektrofotometria w podczerwieni
dodatki smarne
grease
antiwear properties
IR spectra
FTIR spectrophotometry
lubricating additives
Opis:
W artykule przedstawiono wyniki badania składu smarów plastycznych po testach tribologicznych prowadzonych w warunkach stałego obciążenia węzła tarcia. W tym celu wykonano widma IR smaru wyjściowego i porównano je z widmami uzyskanymi dla smarów po testach tribologicznych. Zidentyfikowano pasma charakterystyczne dla badanych smarów i oceniono zmiany w tych zakresach. Uzyskane wyniki wykazały, że właściwości przeciwzużyciowe badanych smarów nie są jedynie funkcją ilościowego udziału dodatków, ale także produktów oksydacji, jakim ulegają składniki smaru.
This paper presents the results of grease composition analysis when tribological tests are performed under constant load. The analysis was conducted by comparing the IR spectra of grease before and after tribological tests. The changes in the identified spectra characteristic of the greases were used to evaluate changes in the grease structures. The results showed that the anti-wear properties of lubricants tested are both a function of the quantitative contribution of additives and the oxidation products that are components of the grease.
Źródło:
Tribologia; 2013, 2; 141-150
0208-7774
Pojawia się w:
Tribologia
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Otrzymywanie warstw SiCN metodą RF sputteringu
SiCN films deposited by RF magnetron sputtering
Autorzy:
Stańczyk, B.
Jagoda, A.
Dobrzański, L.
Caban, P.
Możdżonek, M.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/192224.pdf
Data publikacji:
2011
Wydawca:
Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
Tematy:
SiCN
sputtering
widmo podczerwieni
widmo optycznej absorpcji
dyfrakcja rentgenowska
SIMS
rf sputtering
absorption spectrum
IR spectrum
X-ray diffraction
Opis:
Węglik i azotek krzemu są obiecującymi materiałami, które dzięki swym właściwościom mogą być wykorzystane do uzyskiwania różnego rodzaju przyrządów elektronicznych. Oba są wysoko temperaturowymi półprzewodnikami używanymi jako izolatory i stosowanymi jako bariery dyfuzji w urządzeniach mikroelektronicznych. SiCN znajduje liczne praktyczne zastosowania w ogniwach słonecznych, płaskich monitorach telewizyjnych, pamięciach optycznych, jako warstwy antyrefleksyjne. Kontrola parametrów procesu sputteringu pozwala na uzyskiwanie warstw o różnych właściwościach fizycznych i chemicznych np. o różnej przerwie energetycznej, od 2,86 V dla SiC do 5 eV dla Si3N4 [1]. W artykule opisane zostały właściwości warstw SiCN otrzymane metodą reaktywnego sputteringu z targetu węglika krzemu oraz w atmosferze argonowo - azotowej. SiCN osadzany był na podłożach Si(111) oraz na podłożach krzemowych z warstwą AlN. Skład, struktura, powierzchnia uzyskiwanych warstw była określana za pomocą metod diagnostycznych takich jak: dyfrakcja rentgenowska (XRD), spektroskopia masowa jonów wtórnych (SIMS), mikroskopia sil atomowych (AFM). Badano wpływ parametrów sputteringu na jakość warstw analizując widma transmisji i z zakresu podczerwieni i światła widzialnego.(FTIR - spektroskopia optyczna w zakresie podczerwieni).
Silicon carbide and silicon nitride are prospective candidates for potential high-temperature structural applications because of their excellent mechanical properties [1]. Both are high-temperature semiconductor materials used as electrical insulators or diffusion barriers in microelectronic devices. Apparently, amorphous silicon carbide nitride (SiCxNy) has tenability over a very wide range of x and y. In this context, SiCXNY alloys are interesting materials, among which one can enumerate the SiC band gap (2,86eV) and insulating Si3N4 films (5eV) [1]. In our paper, we describe the properties of SiCN fabricated by magnetron sputtering from a silicon carbide target in a reactive atmosphere of nitrogen and argon. SiCN was deposited on both Si(111) substrates and silicon substrates with AlN layers. The composition, structure and surface roughness (RMS) of the SiCN films were characterized by X-Ray Diffraction (XRD), Secondary Ion Mass Spectroscopy (SIMS), Atomic Force Microscopy (AFM), and Scanning Electron Microscopy (SEM).The influence of the gas composition, gas flow rate and working gas pressure on the quality of layers was examined by the analysis of the spectrum of Optical Absorption and by Fourier Transform Infrared Spectroscopy (FTIR).
Źródło:
Materiały Elektroniczne; 2011, T. 39, nr 2, 2; 18-23
0209-0058
Pojawia się w:
Materiały Elektroniczne
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
    Wyświetlanie 1-10 z 10

    Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies