Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Wyszukujesz frazę "spektroskopia absorpcyjna" wg kryterium: Temat


Wyświetlanie 1-11 z 11
Tytuł:
Korelacyjny pomiar gęstości widmowej mocy szumów detektorów fotonowych do spektroskopii absorpcyjnej
Cross-correlation method for noise measurements of photodetectors used for laser absorption spectroscopy
Autorzy:
Achtenberg, Krzysztof
Mikołajczyk, Janusz
Bielecki, Zbigniew
Wojtas, Jacek
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/1857073.pdf
Data publikacji:
2020
Wydawca:
Wojskowa Akademia Techniczna im. Jarosława Dąbrowskiego
Tematy:
szumy
detektory IR
spektroskopia absorpcyjna w podczerwieni
detektor supersieciowy
noise
infrared detectors
infrared absorption spectroscopy
superlattice detector
Opis:
W pracy przedstawiono wyniki pomiarów gęstości widmowej napięcia szumów detektorów fotonowych o małych rezystancjach przy użyciu specjalnie opracowanego stanowiska pomiarowego. Badania tych detektorów mają duże znaczenie dla wielu aplikacji. Są one szczególnie istotne dla układów laserowej spektroskopii absorpcyjnej do wykrywania śladowych ilości gazów. Uzyskiwana w nich granica wykrywalności jest bezpośrednio związana nie tylko z szumami źródeł promieniowania i szumem tła, lecz także z szumami detektora oraz kolejnych stopni fotoodbiornika. Zastosowanie w opracowanym systemie specjalnie zaprojektowanych ultramałoszumowych torów pomiarowych (wzmacniacze o napięciu szumów 3,6 × 10⁻¹⁹ V² /Hz dla f > 1 kHz) oraz operacji korelacji sygnałów w czasie 10 minut umożliwiło uzyskanie szumu tła poniżej 10⁻¹⁸ V² /Hz dla f > 10 Hz oraz poniżej 10⁻¹⁹ V² /Hz dla f > 1 kHz. Efektywność systemu zweryfikowano poprzez pomiary referencyjnych rezystorów, a następnie detektora z supersieci drugiego rodzaju (T2SL) wykonanego z InAs/InAsSb.
The paper presents noise measurements of low-resistance photon detectors with a specially developed system. These measurements are significant for many applications. This issue is particularly critical for laser absorption spectroscopy systems to detect trace amounts of gases. In these systems, the detection limit is determined by noise origins, e.g., light source, background, and detector noise and its readout electronics. The use of some specially designed components of the system (low-noise - 3.6 × 10⁻¹⁹ V² /Hz for f >1 kHz) cross-correlation signal processing provides to obtain a measuring floor noise below 10⁻¹⁸ V² /Hz for f > 10 Hz and below 10⁻¹⁹ V² /Hz for f > 1 kHz after ten minutes’ analysis. Measurements of some reference resistors have verified the system’s performance. Finally, the system was also applied to determine the spectral noise density of the II-Type SuperLattice photodetector made of InAs/InAsSb.
Źródło:
Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej; 2020, 69, 4; 73-83
1234-5865
Pojawia się w:
Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Spektroskopia NIR - modelowanie kwantowo-mechaniczne widm jako narzędzie w badaniach podstawowych i wsparcie zastosowań analitycznych
NIR spectrometry - spectra simulation as a potent tool in basic research and analytical applications
Autorzy:
Beć, Krzysztof B.
Grabska, Justyna
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/27310036.pdf
Data publikacji:
2023
Wydawca:
Polskie Towarzystwo Chemiczne
Tematy:
modelowanie kwantowo-mechaniczne widm
spektroskopia absorpcyjna w zakresie bliskiej podczerwieni (NIR)
interpretacja widm
nadtony
pasma drgań kombinacyjnych
przypisania pasm
spectra simulation
near-infrared (NIR)
spectra interpretation
overtones
combination bands
band assignments
Opis:
Near-infrared (NIR) spectroscopy is a powerful technique that has been extensively used for the qualitative and quantitative analysis of a broad range of chemical compounds in various fields, such as pharmaceuticals, food, and environmental monitoring. However, the interpretation of NIR spectra is often challenging due to the complex line shape and overlapping signals that make it difficult to assign the bands to specific molecular vibrations. In recent years, significant advancements in theoretical methods have enabled the calculation of NIR spectra for a variety of molecules, paving the way for the integration of computational chemistry and NIR spectroscopy. This emerging field offers a wealth of opportunities to improve our understanding of the spectral features and to provide detailed molecular fingerprints that are essential for fundamental research and practical applications. Accurate simulation of NIR bands unlocks new potential in exploring the solvent effect or intermolecular interactions, in which cases interpreted overtones and combination bands provide unique information, complementary to that extracted from the fundamental bands observed in mid-infrared (MIR) region. In the area of applications, by reproducing the spectra of molecules with complex structures, theoretical calculations can provide new physical insights into the nature of the vibrational modes that contribute to the spectral signals. This knowledge can be used to improve the accuracy and reliability of chemometric models that are commonly used in quantitative analysis.
Źródło:
Wiadomości Chemiczne; 2023, 77, 7-8; 719--743
0043-5104
2300-0295
Pojawia się w:
Wiadomości Chemiczne
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Application of quantum cascade lasers to trace gas detection
Autorzy:
Bielecki, Z.
Stacewicz, T.
Wojtas, J.
Mikołajczyk, J.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/201703.pdf
Data publikacji:
2015
Wydawca:
Polska Akademia Nauk. Czytelnia Czasopism PAN
Tematy:
absorption spectroscopy
biomarkers
sensors
gas sensors
cavity enhanced spectroscopy
photoacoustic spectroscopy
spektroskopia absorpcyjna
biomarkery
czujniki gazu
spektroskopia wzmocniona
spektroskopia fotoakustyczna
Opis:
The potential of Quantum Cascade Laser technology has been recently harnessed in industry, medicine and military to create a range of original infrared gas sensors. These sensors have opened up many new applications due to compact size, excellent sensitivity, robust construction and low power requirements. They rely on infrared absorption spectroscopy to determine identity and quantity of gases. The measurement of these gases has relied on different technologies including multi-pass spectroscopy, photoacoustic spectroscopy, cavity ring down spectroscopy, and their various modifications. In this review paper some technologies are described in terms of its advantages/disadvantages in many application. The results of own works about methane, ammonia, nitric oxide, nitrous oxide, and carbonyl sulfide detection are presented as well.
Źródło:
Bulletin of the Polish Academy of Sciences. Technical Sciences; 2015, 63, 2; 515-525
0239-7528
Pojawia się w:
Bulletin of the Polish Academy of Sciences. Technical Sciences
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
The complementary structural studies of the double metal cyanide type catalysts for the ring opening polymerization of the oxiranes
Komplementarne badania strukturalne dimetalocyjankowych katalizatorów polimeryzacji z otwarciem pierścienia oksiranowego
Autorzy:
Chruściel, A.
Hreczuch, W.
Czaja, K.
Ławniczak-Jabłońska, K.
Janik, J.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/947469.pdf
Data publikacji:
2016
Wydawca:
Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Chemii Przemysłowej
Tematy:
double metal cyanide catalysts (DMC)
thermal analysis
thermogravimetric analysis (TG)
differential scanning calorimetry (DSC)
evolved gas analysis (EGA)
X-ray absorption spectroscopy (XAS)
X-ray absorption near edge structure (XANES)
extended X-ray absorption fine structure (EXAFS)
katalizatory dimetalocyjankowe (DMC)
analiza termiczna
analiza termograwimetryczna (TGA)
różnicowa kalorymetria skaningowa (DSC)
analiza wydzielanych gazów (EGA)
rentgenowska absorpcyjna spektroskopia struktury przykrawędziowej (XANES)
synchrotronowa absorpcyjna spektroskopia rentgenowska (EXAFS)
Opis:
The extensive complementary experimental studies of the double metal catalysts (DMC) with two kinds of the organic ligands were performed. The chemical justification of the observed TG/DSC (thermogravimetric analysis/differential scanning calorimetry) steps was proposed. Several organic ligand complexing states were found in both types of catalysts. X-ray absorption spectroscopy (XAS) analysis established that only Zn atoms are the active metallic centers in DMC catalyst regardless the used ligand. Cl atoms were detected near some of Zn atoms. Contrary to the common suppositions no significant amount of oxygen atoms was detected in the closest coordination spheres of Zn.
Przeprowadzono badania strukturalne katalizatorów dimetalocyjankowych (DMC) z dwoma rodzajami ligandów organicznych. Zaproponowano wyjaśnienie etapów przebiegu krzywych otrzymanych metodą analizy termograwimetrycznej i różnicowej kalorymetrii skaningowej (TG/DSC) badanych katalizatorów. Wykazano obecność kilku stopni związania ligandów w kompleksach DMC. Na podstawie wyników badań z wykorzystaniem absorpcji rentgenowskiej (XAS) stwierdzono, że centrum aktywne katalizatora stanowi atom cynku. W bezpośrednim sąsiedztwie atomów Zn wykryto obecność atomów Cl, natomiast w najbliższych sferach koordynacyjnych atomu Zn nie wykryto atomów tlenu.
Źródło:
Polimery; 2016, 61, 6; 421-432
0032-2725
Pojawia się w:
Polimery
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Zastosowanie absorpcyjnej spektrometrii atomowej do oznaczania metali w wyrobach stosowanych w budownictwie
Application of atomic absorption spectrometry in determination of metals in construction products
Autorzy:
Deptuła, H.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/183026.pdf
Data publikacji:
2006
Wydawca:
Instytut Techniki Budowlanej
Tematy:
wyrób budowlany
metal ciężki
oznaczanie
spektroskopia absorpcyjna atomowa
PCW
impregnat
drewno impregnowane
cement
alkalia
kruszywo
badanie laboratoryjne
Opis:
Przedstawiono wyniki badań zawartości metali w wyrobach stosowanych w budownictwie z wykorzystaniem absorpcyjnej spektrometrii atomowej, wykonanych w ramach działalności statutowej ITB w latach 2002-2005 w Zakładzie Ochrony Środowiska. Metale ciężkie obecne w wyrobach mogą stanowić zagrożenie dla robotników budowlanych, użytkowników obiektów budowlanych oraz wszystkich elementów środowiska naturalnego (wód, powietrza i gleby), dlatego ich poziom podlega ograniczeniom i kontroli. Przedmiotem badań były: polichlorek winylu, środki ochrony drewna i drewno impregnowane, cement oraz kruszywa.
Heavy metals and their compounds are present in building materials as natural component or additive (pigments, stabilizers, antyfouling agents). Some of them like Cd, Pb, Cr, As, Hg are classified as toxic, carcinogenic or dangerous for environment. In order to protect the environment and human health the use of toxic metals is regulated or restricted. The paper presents the results of laboratory tests of determination of metals in PVC products, wood preservatives and treated wood, cement and aggregates by means of atomic absorption spectrometry. Microwave digestion was used as sample preparation technique.
Źródło:
Prace Instytutu Techniki Budowlanej; 2006, R. 35, nr 4, 4; 37-47
0138-0796
Pojawia się w:
Prace Instytutu Techniki Budowlanej
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Fraction of heavy metals in sludges from typical coking wastewater treatment plants by modified BCR sequential extraction procedure
Autorzy:
Diao, C. P.
Wei, C. H.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/207538.pdf
Data publikacji:
2017
Wydawca:
Politechnika Wrocławska. Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej
Tematy:
absorption spectroscopy
biological water treatment
BRC
heavy metals
spektroskopia absorpcyjna
biologiczne oczyszczanie wody
metale ciężkie
Opis:
Fractions of 8 heavy metals (Cd, Cr, Hg, Cu, Zn, Pb, Ni and As) in sludges from two typical coking wastewater treatment plants were determined by atomic absorption spectroscopy (AAS) using the modified the European Community Bureau of Reference sequential extraction procedure as the pretreatment technology. The sludges from biological, coagulation deposition units and the discharged sludges of two plants were sampled and the exchangeable, reducible, oxidable, residual fraction and the total content were determined. The oxidable or residual fraction was the predominant fraction in various sludges and on the contrary that the values of the exchangeable and reducible fractions were much lower. Poor biological availability and low potential environment risk of heavy metals was found in sludges from typical coking wastewater treatment plants. Further results of cluster analysis conducted by SPSS that the units with similar conditions could be classed together identified that the unit condition was one key factor affecting on the fraction of heavy metals in sludges.
Źródło:
Environment Protection Engineering; 2017, 43, 4; 191-207
0324-8828
Pojawia się w:
Environment Protection Engineering
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Poznawanie własności materii w skali atomowej za pomocą absorpcji promieniowania synchrotronowego
Autorzy:
Drzewiecka, A.
Wolska, A.
Klepka, M. T.
Ławniczak-Jabłońska, K.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/274182.pdf
Data publikacji:
2012
Wydawca:
Roble
Tematy:
promieniowanie synchrotronowe
rentgenowska spektroskopia absorpcyjna
synchrotron radiation
X-ray absorption spectroscopy
Źródło:
LAB Laboratoria, Aparatura, Badania; 2012, 17, 6; 16-21
1427-5619
Pojawia się w:
LAB Laboratoria, Aparatura, Badania
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Badanie zawartości wybranych metali ciężkich w separatorze polimerowym akumulatora kwasowo-ołowiowego
Analysis of the selected heavy metals content in the lead-acid battery polymeric separator
Autorzy:
Kolasa, Dorota
Łukomska, Aneta
Sołtysiak, Joanna
Soszko, Michał
Ciężarek, Olga
Lach, Jakub
Wróbel, Kamil
Czerwiński, Andrzej
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/947358.pdf
Data publikacji:
2019
Wydawca:
Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Chemii Przemysłowej
Tematy:
separatory elektrod
polietylen
oznaczanie metali ciężkich
mineralizacja mikrofalowa
absorpcyjna spektrometria atomowa z atomizacją w płomieniu (FAAS)
analizator rtęci
skaningowa mikroskopia elektronowa/spektrometria dyspersji energii promieniowania rentgenowskiego (SEM/EDS)
spektroskopia w podczerwieni z transformacją Fouriera (FT-IR)
electrode separators
polyethylene
heavy metals determination
microwave-assisted digestion
flame atomic absorption spectrometry (FAAS)
mercury analyzer
scanning electron microscopy/energy dispersive X-ray spectrometry (SEM/EDS)
Fourier transform infrared spectroscopy (FT-IR)
Opis:
W materiale polimerowym stosowanym jako separator elektrod w akumulatorze kwasowo-ołowiowym oznaczano zawartość kadmu, ołowiu i rtęci. W kontekście obowiązujących przepisów dotyczących wprowadzanych do obrotu baterii i akumulatorów oraz przetwarzania zużytych baterii i zużytych akumulatorów porównano wyniki badania próbek separatora przed użyciem w procesach elektrochemicznych oraz próbek odpadowych. W badaniach separatora [poprzedzonych analizą jakościową tworzywa metodami: skaningowej mikroskopii elektronowej/spektrometrii dyspersji energii promieniowania rentgenowskiego (SEM/EDS) i spektroskopii w podczerwieni z transformacją Fouriera (FT-IR)] wykorzystano nowoczesny aparat do mikrofalowego roztwarzania próbek w połączeniu z techniką absorpcyjnej spektrometrii atomowej z atomizacją w płomieniu (FAAS) i analizatorem rtęci. Zastosowane procedury analityczne weryfikowano na podstawie wyników badania certyfikowanego materiału odniesienia (PE-LD) zawierającego śladowe ilości analitów.
Results of cadmium, lead and mercury determination in the polymeric material used as an electrode separator in the lead-acid battery have been presented. Samples of the separator before use in the electrochemical processes and the waste separator samples have been compared with reference to the existing laws on batteries and accumulators and waste batteries and accumulators. In the polymer separator examination [preceded by a qualitative analysis of the material using scanning electron microscopy/ energy dispersive X-ray spectrometry (SEM/EDS) and Fourier transform infrared spectroscopy (FT-IR) techniques], a modern UltraWAVE digestion system combined with flame atomic absorption spectrometry (FAAS) technique and a DMA-80 Direct Mercury Analyzer has been used. The quality of metal determination results has been evaluated using a certified PE-LD reference material containing trace amounts of analytes.
Źródło:
Polimery; 2019, 64, 6; 442-451
0032-2725
Pojawia się w:
Polimery
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Charakterystyka składu mieszaniny nanorurek węglowych na podstawie spektroskopii absorpcyjnej UV-Vis-NIR, spektroskopii ramanowskiej, analizy termograwimetrycznej i mikroskopii elektronowej
Characteristics of the composition of carbon nanotubes mixture based on the absorption spectroscopy in UV-Vis-NIR range, Raman spectroscopy, thermal gravimetric analysis and electron microscopy
Autorzy:
Łukaszczuk, P.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/136032.pdf
Data publikacji:
2016
Wydawca:
Wyższa Szkoła Techniczno-Ekonomiczna w Szczecinie
Tematy:
nanorurki węglowe
spektroskopia absorpcyjna
spektroskopia ramanowska
termograwimetria
transmisyjna mikroskopia elektronowa
carbon nanotubes
absorption spectroscopy
Raman spectroscopy
thermogravimetry
transmission electron microscopy
Opis:
Wstęp i cele: Artykuł ma na celu przybliżenie tematyki badania składu mieszaniny nanorurek węglowych. Z uwagi na specyfikę stosowanych metod syntezy nanorurek węglowych, otrzymany materiał zawiera wiele zanieczyszczeń. W skład mieszaniny wchodzą katalizatory oraz węgiel w różnych formach alotropowych. Również wszelkie modyfikacje surowego materiału, takie jak: oczyszczanie, separacja czy funkcjonalizacja, pociągają za sobą konieczność zbadania składu i jakości otrzymanego materiału. Materiał i metody: W pracy przedstawiono analizę materiału nanorurkowego otrzymanego metodą odparowania laserowego. W jego skład wchodzą katalizatory Ni/Co/Mo lub na bazie metali szlachetnych Pt/Re/Rh oraz węgiel amorficzny i cząstki grafitowe. W pracy przedstawiono analizę jakościową i ilościową składu mieszaniny, poddanej oczyszczaniu, separacji i funkcjonalizacji. Metody używane do określenia składu i jakości materiału to spektroskopia absorpcyjna w zakresie UV-Vis-NIR, spektroskopia ramanowska, analiza termograwimetryczna oraz transmisyjna mikroskopia elektronowa. Wyniki: Wykazano, że materiał nanorurkowy należy badać kompleksowo przy pomocy wyżej wymienionych metod w celu uzyskania kompletu informacji na temat jego składu, a tym samym jakości. Wniosek: Nie istnieje jedna metoda, dzięki której można przeanalizować wszystkie aspekty materiału nanorurkowego. Część metod pozwala na ilościowe określenie zawartości podstawowych zanieczyszczeń, podczas gdy inne pozwalają poznać morfologię i określić przydatność materiału do określonych celów.
Introduction and objectives: The aim of this article is to familiarize the issue of carbon nanotubes analysis. Due to specificity of the synthesis method of carbon nanotubes the obtained material contains several kinds of impurities, such as catalysts and various carbon allotropes. Furthermore, any modifications to the raw material, such as purification, separation or functionalization, require the examination of the composition and quality of the obtained material. Material and Methods: This study presents the analysis of the nanotube material obtained by laser ablation synthesis. The material contains impurities, such as catalysts and other than nanotubes allotropes of carbon. This paper presents an qualitative and quantitative analysis of the compositions of the mixture subjected to purification, separation and functionalization. The methods used to determine the composition and quality of the material arethe absorption spectroscopy in the UV-Vis-NIR range, Raman spectroscopy, thermogravimetric analysis, and transmission electron microscopy. Results: It has been demonstrated that the nanotube material should be comprehensively examined using the abovementioned methods in order to obtain complete information on its composition and quality. Conclusion: There is no single method allowing for the analysis of all aspects of the nanotube material. Some of the methods allow for quantitative determination of the some impurities, whereas others can be used to explore the morphology of the material and to determine if material is suitable for particular purposes
Źródło:
Problemy Nauk Stosowanych; 2016, 4; 107-118
2300-6110
Pojawia się w:
Problemy Nauk Stosowanych
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Układ detekcji metanu z laserem kaskadowym oraz komórką wielokrotnych przejść
Quantum cascade laser, multipass cell instrument design for methane detection
Autorzy:
Miczuga, M.
Głogowski, P.
Kubicki, J.
Kopczyński, K.
Kwaśny, M.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/160154.pdf
Data publikacji:
2010
Wydawca:
Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Elektrotechniki
Tematy:
laserowa spektroskopia absorpcyjna
laser kaskadowy
detekcja metanu
spektroskopia w podczerwieni
optoelektronika
Opis:
W artykule przedstawiono budowę oraz zasadę działania optoelektronicznego układu przeznaczonego do detekcji śladowych ilości metanu (na poziomie ppm oraz sub-ppm). Podstawowymi elementami układu są komórka wielokrotnych przejść (komórka White’a) oraz laser kaskadowy QCL. W trakcie badań wykorzystano laser kaskadowy emitujący promieniowanie o długości fali 7,85 µm. Zastosowanie laserów kaskadowych umożliwia dopasowanie parametrów emitowanego promieniowania laserowego do widma absorpcji metanu. W artykule przedstawiono także podstawowe charakterystyki kalibracyjne układu, wpływ stężenia, temperatury oraz ciśnienia gazu na mierzone wartości transmisji promieniowania przez próbkę. Dzięki wysokiej czułości, selektywności oraz stabilności pracy układy detekcji metanu zbudowane na bazie laserów kaskadowych mogą znaleźć zastosowanie w ochronie środowiska, diagnostyce medycznej oraz systemach ostrzegania w kopalniach.
The article presents construction and principle of operation of the optoelectronic system for methane detection at low gas concentrations (at level of ppm and sub-ppm). Designed instrument is based on quantum cascade laser QCL (wavelength 7,85 µm) and multipass cell (White cell configuration). Quantum cascade lasers enables adjust parameters of laser radiation to absorption spectrum of measured gas (methane). Main calibration characteristics of the instrument including: effects of concentration, temperature and pressure of methane on transmission of laser radiation trough the sample was presented. Instrument based on QC Lasers because of its high responsivity, selectivity and stability can find application in medicinal diagnosis, nature conservation and mining safety systems.
Źródło:
Prace Instytutu Elektrotechniki; 2010, 245; 139-152
0032-6216
Pojawia się w:
Prace Instytutu Elektrotechniki
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Zastosowanie fourierowskiej spektroskopii absorpcyjnej w podczerwieni do badania interfejsu SiO2//Si w łączonych strukturach SOI
Infrared spectroscopic analysis of the SiO2//Si interface of soi structures
Autorzy:
Możdżonek, M.
Piątkowski, B.
Kozłowski, A.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/192054.pdf
Data publikacji:
2008
Wydawca:
Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
Tematy:
spektroskopia absorpcyjna w podczerwieni
interfejs SiO2//Si
badanie tlenków
Opis:
Badania tlenków w pobliżu interfejsu SiO2//Si powstałego w wyniku połączenia płytek krzemowych oraz interfejsu Si/SiO2 uformowanego w procesie termicznego utleniania płytek Si w łączonych strukturach SOI przeprowadzono metodą fourierowskiej spektroskopii absorpcyjnej w podczerwieni. Określono zmiany energii fononów TO i LO wiązań O-Si-O w zależności od grubości tlenku, pocieniając badane tlenki poprzez trawienie w rozcieńczonym kwasie fluorowodorowym. Uzyskane wyniki zmian energii fononów optycznych w funkcji grubości tlenków pokazują, że w pobliżu obu interfejsów istnieją obszary substechiometrycznego SiOx. Struktura tlenków w tych obszarach jest jednak różna. W przypadku interfejsu SiO2//Si występuje SiO2 + Si, co powoduje przesunięcie linii absorpcyjnej modu TO w stronę wyższych liczb falowych. Zmiany położenia linii modu TO obserwowane są dla tlenków o grubości poniżej 4,0 nm. W interfejsie Si/SiO2 warstwa SiOx jest taka sama jak warstwa przejściowa w tlenkach termicznych. Badania absorpcyjne wykonano dla tlenków w zakresie grubości l,5-20nm.
Infrared absorption spectroscopy has been used to investigate the silicon oxide near the two interfaces in the SOI structure, the SiO2//Si interface created by bonding of two silicon wafers and the Si/SiO2 interface created by thermal oxidation. The oxide films were thinned by etching in dilute hydrofluoric acid for the spectroscopic analysis. The behavior of the transverse (TO) and longitudinal (LO) optical phonon modes, which are associated with asymetric streching the O-Si-O bonds as a function of the oxide film thickness provides an evidence that near the both interfaces exist region of sub-stoichiometric silicon oxide (SiO ). The structure of this SiOx layer is different at each interface. We propose a model in which the sub-oxide layer in the SiO2//Si interface is composed with SiO2 and Si. We found that the TO phonon frequency apparently starts to shift toward higher wave number at around 4,0 nm from the interface. The structure of this SiOx layer in the Si/SiO2 interface is just the same as that observed for the thermal oxide. Spectroscopic investigations were performed for the oxide films range from 1,5 nm to 20 nm.
Źródło:
Materiały Elektroniczne; 2008, T. 36, nr 1, 1; 38-48
0209-0058
Pojawia się w:
Materiały Elektroniczne
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
    Wyświetlanie 1-11 z 11

    Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies