- Tytuł:
-
Modelowanie zjawiska rozpraszania światła w skaterometrii nierówności powierzchni
Modelling of Light Scattering Phenomenon in Scatterometry of Rough Surfaces - Autorzy:
- Łukianowicz, C.
- Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/153050.pdf
- Data publikacji:
- 2007
- Wydawca:
- Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
- Tematy:
-
modelowanie
rozpraszanie światła
powierzchnie chropowate
modelling
light scattering
rough surfaces - Opis:
-
W referacie przedstawiono wyniki modelowania zjawiska rozpraszania światła przez powierzchnie nierówne. Pokazano jak zmienia się zespolona amplituda światła na powierzchni nierównej w zależności od parametrów nierówności okresowych i losowych. Na podstawie uzyskanych wyników przeanalizowano wpływ wysokości oraz kształtu nierówności na rozkład natężenia światła rozproszonego. Przeprowadzone badania modelowe pozwoliły określić zakres wysokości nierówności, które mogą być zmierzone za pomocą metod opartych na ocenie rozkładu natężenia światła rozproszonego. Otrzymane wyniki badań wskazują też, że dla wysokosci nierówności znacznie mniejszych od długości fali światła możliwe jest wyznaczenie funkcji gęstości widmowej mocy nierówności powierzchni, bezpośrednio z rozkładu natężenia światła rozproszonego.
In the paper numerical results of modelling of light scattering from rough surfaces are presented. Dependency of the complex amplitude of the light wave scattered by rough surface on the surface roughness parameters of periodical and random surfaces is showed. Influence of the surface roughness height and shape on distribution of scattered light is analysed. The model investigations allow determining the roughness height range that we can to measure by differential light scattering methods. Obtained results shown that power spectral density of rough surface is similar to distribution of scattered light if the surface roughness height is less than the wavelength of light. - Źródło:
-
Pomiary Automatyka Kontrola; 2007, R. 53, nr 9 bis, 9 bis; 519-522
0032-4140 - Pojawia się w:
- Pomiary Automatyka Kontrola
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł