- Tytuł:
- A note on optical materials for photolithography applications
- Autorzy:
-
Jain, A.
Roszkiewicz, A.
Nasalski, W. - Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/31342991.pdf
- Data publikacji:
- 2018
- Wydawca:
- Instytut Podstawowych Problemów Techniki PAN
- Tematy:
-
optical lithography
photoresist
graphene
photonic
fotolitografia
fotorezyst
grafen
fotonika - Opis:
-
Optical lithography or photolithography is well-established optical tool for patterning of substrates, layers or photonic crystals. Therefore, the materials involved in these processes play an important role, especially for the possibility of their further advancements and optimisation. In this review article, we discuss on the role and significance of photoresist materials from various perspectives like their performance in photonic applications and their dependence on various physical and chemical parameters. Further, several emerging now two-dimensional materials like graphene has also been discussed from photonic point of view. We aim to give a short overview of recent developments of such materials in this field.
Fotolitografia jest dobrze znanym procesem pozwalającym na tworzenie wzorów na podłożach, warstwach czy kryształach fotonicznych. W związku z tym materiały wykorzystywane w tym procesie pełnią istotną rolę, zwłaszcza ze względu na dalszy możliwy rozwój dziedziny oraz optymalizację procesu. W tym artykule przeglądowym omawiamy rolę i znaczenie fotorezystu z różnych perspektyw, np. jego wydajność w zastosowaniach fotonicznych czy zależność od różnych parametrów fizycznych i chemicznych. Ponadto, omawiamy wiele powstających obecnie dwuwymiarowych materiałów, jak grafen, z punktu widzenia fotoniki. Naszym celem jest przedstawienie krótkiego przeglądu ostatnich osiągnięć w dziedzinie tego typu materiałów wykorzystywanych w fotolitografii. - Źródło:
-
IPPT Reports on Fundamental Technological Research; 2018, 3; 1-41
2299-3657 - Pojawia się w:
- IPPT Reports on Fundamental Technological Research
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł