- Tytuł:
-
Modyfikacja powierzchni poprzez osadzanie produktów impulsowego rozpylania elektrycznego w silnym polu elektrycznym
Modification of surface by deposition of pulse electric sputtering products in a strong electric field - Autorzy:
-
Kubicki, J.
Kwaśny, M. - Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/209663.pdf
- Data publikacji:
- 2007
- Wydawca:
- Wojskowa Akademia Techniczna im. Jarosława Dąbrowskiego
- Tematy:
-
modyfikacja powierzchni
plazma elektryczna
rozpylanie elektryczne
surface modification
electric plasma
electric sputtering - Opis:
-
W pracy przeprowadzono w odpowiedniej komorze proces modyfikacji powierzchni różnych materiałów metodą osadzania produktów impulsowego rozpylania elektrycznego. Impulsy elektryczne uzyskiwano z generatora, w którym poprzez iskierniki załączono kondensatory naładowane do kilkudziesięciu kilowoltów napięcia. W wyniku impulsowego wyładowania elektrycznego między elektrodami z wybranego materiału, materiał ten ulegał rozpyleniu i e dużej mierze jonizacji. Przyłożone w odpowiednim momencie impulsowe pole elektryczne rozpędzając wytworzone jony, nanosiło je na modyfikowane podłoże. Proces przeprowadzano w warunkach wstępnej próżni oraz w atmosferze wybranych gazów pod niskim ciśnieniem. Zmieniając parametry impulsów elektrycznych, a także ustawienia przestrzenne elementów oraz ciśnienie i skład gazów w komorze, otrzymano zmodyfikowane powierzchnie szkła, ceramiki oraz różnych metali. Otrzymane próbki po wykonaniu zdjęć mikroskopowych poddano badaniom fizycznym, w których sprawdzono ich twardość, przyczepność wierzchniej warstwy do podłoża, chropowatość i porowatość. Do optymalizacji skuteczności nanoszenia materiału na podłoże zastosowano metodę wykorzystującą zależność transmisji światła przez nanoszone warstwy od ich grubości.
A proces of surfaces modification has been carried out in a special chamber. Electric pulses originate from a generator in which the capacitors, charged to dozens of kV, were switched on throught spark gaps. After a pulse discharge between the electrodes, their specially chosen material underwent evaporation and ionization. The pulse electric field applied at the specific moment caused acceleration of the produced ions and next their deposition on a modified substrate. The process was carried out in a pre-vacuum and in low pressure gas atmosphere. By changing the parameters of electric pulses and spatial arrangement of elements in the chamber and also composition and pressure of gases, surfaces of glass, ceramics, and various metals were modified. The obtained samples were examined under a microscope and then their durability, adherance of superficial layer to a substrate and porosity were checked. Also electric conductivity of glass and ceramics was measured. Efficiency of material deposition on a substrate was optimized due to measurement of light transmission through the sample with a transparent substrate. - Źródło:
-
Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej; 2007, 56, 3; 47-57
1234-5865 - Pojawia się w:
- Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł