Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

English (EN)·Polski (PL)·Yкраїнський (UK)
Przejdź do strony domowej biblioteki Centralna Biblioteka Wojskowa Link otwiera się w nowym oknie Logo biblioteki Prolib Integro - strona głównaCentralna Biblioteka Wojskowa

Wyszukujesz frazę "Miller, Jakub" wg kryterium: Autor

  Lista filtrów
Wyrównaj
    Wyświetlanie 1-2 z 2
    Tytuł:
    Surface forces in chemical mechanical planarization and semiconductor wafer cleaning systems
    Autorzy:
    Hupka, Lukasz
    Nalaskowski, Jakub
    Miller, Jan D.
    Hupka, Jan
    Powiązania:
    https://bibliotekanauki.pl/articles/1853722.pdf
    Data publikacji:
    2021
    Wydawca:
    Polskie Towarzystwo Chemiczne
    Tematy:
    chemical mechanical planarization
    CMP
    surface chemistry phenomena
    colloidal probe
    atomic force microscopy
    AFM
    Opis:
    Superior uniformity and local planarity of semiconductor wafers in the chemical mechanical planarization (CMP) process as well as efficient post-CMP cleaning is controlled by surface chemistry phenomena. The AFM colloidal probe technique was used to demonstrate surface forces which are of special significance to CMP and post-CMP cleaning. Examples of ways to manipulate those interactions are provided, and the benefits to CMP processes and post-CMP cleaning are discussed.
    Źródło:
    Wiadomości Chemiczne; 2021, 75, 9-10; 1229-1240
    0043-5104
    2300-0295
    Pojawia się w:
    Wiadomości Chemiczne
    Dostawca treści:
    Biblioteka Nauki
    Artykuł
      Wyświetlanie 1-2 z 2

      Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies