- Tytuł:
-
Parametry akustycznej fali pseudopowierzchniowej uwarunkowane warstwową konstrukcją podzespołu na niobianie litu o orientacji 41°YX
PSAW parameters conditioned by multilayer structure of acoustic device on 41°YX LiNbO3 - Autorzy:
-
Hechner, J.
Łysakowska, M. - Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/192138.pdf
- Data publikacji:
- 2006
- Wydawca:
- Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Materiałów Elektronicznych
- Tematy:
-
akustyczna fala pseudopowierzchniowa
analiza fazy ciekłej
podzespół czujnikowy z AFPP o standardowej konstrukcji
pseudo surface acoustic wave
sensor structure with commonly used layers configuration - Opis:
-
Przedstawiono rozwiązanie konstrukcyjne podzespołu z akustyczną falą pseudopo-wierzchniową (AFPP) na 41°YX LiNbO3, które może być wykorzystane w analizie fazy ciekłej. W powyższej fali obecne są trzy składowe wektora przemieszczeń cząstek, dominującąjest składowa poprzeczna, równoległa do kierunku propagacji fali. Omówiono wyniki obliczeń i eksperymentów dotyczących wpływu wielowarstwowego obciążania powierzchni struktury czujnikowej i wzajemnej konfiguracji warstw {podłoże piezoelektryczne - warstwa metaliczna (Al.) - falowodowa i zabezpieczająca warstwa (SiO2)} na wzajemną relację składowych ruchu cząstek i charakterystykę AFPP. Uzyskane rezultaty wykazały, że opisana wyżej i powszechnie stosowana w czujnikach akustycznych konfiguracja warstw nie spełnia wymagań aplikacyjnych w przypadku niobianu litu oraz potwierdziły słuszność rozwiązania w którym zastosowano odwróconą konfigurację warstw: LiNbO3 - SiO2 - Al.
The device with pseudo surface acoustic wave (PSAW) on 41°YX LiNb03 for liquid phase detection is presented in this article. This wave has all three components of the particle displacement, however shear-horizontal component is dominant. Theoretical calculations and experimental results considering of the influence of layers configuration (piezoelectric substrate, metal - Al, guiding and protecting layer - Si02) on the relations between the particle displacement components and on characteristics of PSAW propagating are discussed. These results revealed that above commonly used layers configurations in acoustic liquid sensors do not comply with application requirements in the case of LiNbO3 and confirm the Tightness of solution in which the different layers sequence: LiNbO3-SiO2-Al was used. - Źródło:
-
Materiały Elektroniczne; 2006, T. 34, nr 3-4, 3-4; 62-73
0209-0058 - Pojawia się w:
- Materiały Elektroniczne
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki