- Tytuł:
-
Badanie chropowatości powierzchni gładkich za pomocą skaterometru kątowego. Cz. 2, Metodyka pomiaru : wyniki pomiarowe wybranych powierzchni
Examination of smooth surfaces roughness using angle scatterometer. Part 2, The experimental procedure : the measurement results of chosen surfaces - Autorzy:
- Pawlata, A.
- Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/210057.pdf
- Data publikacji:
- 2015
- Wydawca:
- Wojskowa Akademia Techniczna im. Jarosława Dąbrowskiego
- Tematy:
-
chropowatość powierzchni
rozproszenie
funkcja BSDF
sygnatura
skaterometr
surface roughness
scattering
BSDF function
signature
scatterometer - Opis:
-
W artykule opisano metodykę pomiaru parametrów chropowatości powierzchni za pomocą zbudowanego w IOE WAT zautomatyzowanego skaterometru kątowego. Zaprezentowano wyniki pomiarowe dla trzech wybranych polerowanych powierzchni: z krzemu, z germanu oraz ze stali nierdzewnej. Przedstawiono badania porównawcze wykonane za pomocą scatteroscope SCAT-4. Oszacowano powtarzalność pomiaru i zakres pomiarowy dla skaterometru kątowego.
The experimental procedure for measurements of smooth surface roughness parameters using automated angle scatterometer, built at the Institute of Optoelectronics (IOE), is described. The results of measurements and their analysis for three chosen polished surfaces: silicon, germanium, and stainless steel are presented. The comparative investigations using scatteroscope SCAT-4 are performed. The repeatability and measurement range for built at IOEangle scatterometer is estimated. - Źródło:
-
Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej; 2015, 64, 1; 59-78
1234-5865 - Pojawia się w:
- Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł