Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

English (EN)·Polski (PL)·Yкраїнський (UK)
Przejdź do strony domowej biblioteki Centralna Biblioteka Wojskowa Link otwiera się w nowym oknie Logo biblioteki Prolib Integro - strona głównaCentralna Biblioteka Wojskowa

Wyszukujesz frazę "Hoffman, P." wg kryterium: Wszystkie pola

  Lista filtrów
Wyrównaj
    Wyświetlanie 1-6 z 6
    Tytuł:
    Composition and electrical properties of ultra-thin SiOxNy layers formed by rf plasma nitrogen implantation/plasma oxidation processes
    Autorzy:
    Bieniek, T.
    Beck, R. B.
    Jakubowski, A.
    Konarski, P.
    Ćwil, M.
    Hoffman, P.
    Schmeißer, D.
    Powiązania:
    https://bibliotekanauki.pl/articles/308689.pdf
    Data publikacji:
    2007
    Wydawca:
    Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
    Tematy:
    CMOS
    gate stack
    oxynitride
    plasma implantation
    Opis:
    Experiments presented in this work are a summary of the study that examines the possibility of fabrication of oxynitride layers for Si structures by nitrogen implantation from rf plasma only or nitrogen implantation from rf plasma followed immediately by plasma oxidation process. The obtained layers were characterized by means of: ellipsometry, XPS and ULE-SIMS. The results of electrical characterization of NMOS Al-gate test structures fabricated with the investigated layers used as gate dielectric, are also discussed.
    Źródło:
    Journal of Telecommunications and Information Technology; 2007, 3; 9-15
    1509-4553
    1899-8852
    Pojawia się w:
    Journal of Telecommunications and Information Technology
    Dostawca treści:
    Biblioteka Nauki
    Artykuł
    Tytuł:
    Comparison of composition of ultra-thin silicon oxynitride layers fabricated by PECVD and ultrashallow rf plasma ion implantation
    Autorzy:
    Mroczyński, R.
    Bieniek, T.
    Beck, R. B.
    Ćwil, M.
    Konarski, P.
    Hoffman, P.
    Schmeißer, D.
    Powiązania:
    https://bibliotekanauki.pl/articles/308687.pdf
    Data publikacji:
    2007
    Wydawca:
    Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
    Tematy:
    ultra-thin dielectrics
    oxynitride
    SIMS
    XPS
    PECVD
    Opis:
    In this paper differences in chemical composition of ultra-thin silicon oxynitride layers fabricated in planar rf plasma reactor are studied. The ultra-thin dielectric layers were obtained in the same reactor by two different methods: ultrashallow nitrogen implantation followed by plasma oxidation and plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD). Chemical composition of silicon oxynitride layers was investigated by means of X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and secondary ion mass spectrometry (SIMS). The spectroscopic ellipsometry was used to determine both the thickness and refractive index of the obtained layers. The XPS measurements show considerable differences between the composition of the fabricated layers using each of the above mentioned methods. The SIMS analysis confirms XPS results and indicates differences in nitrogen distribution.
    Źródło:
    Journal of Telecommunications and Information Technology; 2007, 3; 20-24
    1509-4553
    1899-8852
    Pojawia się w:
    Journal of Telecommunications and Information Technology
    Dostawca treści:
    Biblioteka Nauki
    Artykuł
    Tytuł:
    The influence of annealing (900?C) of ultra-thin PECVD silicon oxynitride layers
    Autorzy:
    Mroczyński, R.
    Głuszko, G.
    Beck, R. B.
    Jakubowski, A.
    Ćwil, M.
    Konarski, P.
    Hoffman, P.
    Schmeißer, D.
    Powiązania:
    https://bibliotekanauki.pl/articles/308691.pdf
    Data publikacji:
    2007
    Wydawca:
    Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
    Tematy:
    ultra-thin dielectrics
    silicon oxynitride
    PECVD
    CMOS
    Opis:
    This work reports on changes in the properties of ultra-thin PECVD silicon oxynitride layers after high- temperature treatment. Possible changes in the structure, composition and electrophysical properties were investigated by means of spectroscopic ellipsometry, XPS, SIMS and electrical characterization methods (C-V, I-V and charge- pumping). The XPS measurements show that SiOxNy is the dominant phase in the ultra-thin layer and high-temperature annealing results in further increase of the oxynitride phase up to 70% of the whole layer. Despite comparable thickness, SIMS measurement indicates a densification of the annealed layer, because sputtering time is increased. It suggests complex changes of physical and chemical properties of the investigated layers taking place during high-temperature annealing. The C-V curves of annealed layers exhibit less frequency dispersion, their leakage and charge-pumping currents are lower when compared to those of as-deposited layers, proving improvement in the gate structure trapping properties due to the annealing process.
    Źródło:
    Journal of Telecommunications and Information Technology; 2007, 3; 16-19
    1509-4553
    1899-8852
    Pojawia się w:
    Journal of Telecommunications and Information Technology
    Dostawca treści:
    Biblioteka Nauki
    Artykuł
    Tytuł:
    Comparative studies on promotion of health and life style of hospital staff in Sweden and Poland
    Autorzy:
    Marcinkowski, J.T.
    Edbom-Kolarz, A.
    Bajek, A.
    Wojtyla, A.
    Leppert, J.
    Zagozdzon, P.
    Kolarczyk, E.
    Bryl, W.
    Hoffman, K.
    Powiązania:
    https://bibliotekanauki.pl/articles/50831.pdf
    Data publikacji:
    2012
    Wydawca:
    Instytut Medycyny Wsi
    Źródło:
    Annals of Agricultural and Environmental Medicine; 2012, 19, 4
    1232-1966
    Pojawia się w:
    Annals of Agricultural and Environmental Medicine
    Dostawca treści:
    Biblioteka Nauki
    Artykuł
    Tytuł:
    Mobility of Holes in Nanometer Ge-on-Si p-Type Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistors at Low Temperatures
    Autorzy:
    Grigelionis, I.
    Fobelets, K.
    Vincent, B.
    Mitard, J.
    De Jaeger, B.
    Simoen, E.
    Hoffman, T.
    Yavorskiy, D.
    Łusakowski, J.
    Powiązania:
    https://bibliotekanauki.pl/articles/1492960.pdf
    Data publikacji:
    2011-11
    Wydawca:
    Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
    Tematy:
    72.20.My
    85.30.Tv
    Opis:
    We investigated magnetoresistance of p-type Ge-on-Si metal-oxide-semiconductor field-effect transistors in order to determine the hole mobility μ as a function of the gate polarization $(V_{G})$. Measurements were carried out at 4.2 K and magnetic fields up to 10 T. The signal measured was proportional to the derivative of the transistor resistance with respect to $V_{G}$. To determine the hole mobility we developed a method to treat the measured signal which is based on a numerical solution of a differential equation resulting from the theoretical description of the experimental procedure. As a result, we obtained a non-monotonic $μ(V_{G})$ dependence which is a characteristic feature of the carrier transport in gated two-dimensional structures.
    Źródło:
    Acta Physica Polonica A; 2011, 120, 5; 933-935
    0587-4246
    1898-794X
    Pojawia się w:
    Acta Physica Polonica A
    Dostawca treści:
    Biblioteka Nauki
    Artykuł
      Wyświetlanie 1-6 z 6

      Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies