- Tytuł:
- Comparative study on various microbolometer structures
- Autorzy:
-
Nazdrowicz, J.
Szermer, M.
Maj, C.
Zabierowski, W.
Napieralski, A. - Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/398009.pdf
- Data publikacji:
- 2016
- Wydawca:
- Politechnika Łódzka. Wydział Mikroelektroniki i Informatyki
- Tematy:
-
microbolometer
MEMS
microsystems
thermal imaging
integrated circuits
mikrobolometr
mikrosystemy
obrazowanie termiczne
układy scalone - Opis:
- Meaningful progress in the fields of MEMS is associated with the continuous development of the micromachining technologies. One of the most promising devices in MEMS is thermal sensors. When the first microbolometer appeared on the market, a huge interest in thermal detectors was observed. This paper is a short overview study on microbolometer geometry, different solutions and possibilities to implement them as electrical models.
- Źródło:
-
International Journal of Microelectronics and Computer Science; 2016, 7, 1; 16-25
2080-8755
2353-9607 - Pojawia się w:
- International Journal of Microelectronics and Computer Science
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł