Comparative study on various microbolometer structures

Szczegóły
Opis

Tytuł:: Comparative study on various microbolometer structures
Autorzy:: Nazdrowicz, J.
Szermer, M.
Maj, C.
Zabierowski, W.
Napieralski, A.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/398009.pdf
Data publikacji:: 2016
Wydawca:: Politechnika Łódzka. Wydział Mikroelektroniki i Informatyki
Tematy:: microbolometer
MEMS
microsystems
thermal imaging
integrated circuits
mikrobolometr
mikrosystemy
obrazowanie termiczne
układy scalone
Źródło:: International Journal of Microelectronics and Computer Science; 2016, 7, 1; 16-25
2080-8755
2353-9607
Język:: angielski
Prawa:: Wszystkie prawa zastrzeżone. Swoboda użytkownika ograniczona do ustawowego zakresu dozwolonego użytku
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki
: Artykuł

Przejdź do źródła

Meaningful progress in the fields of MEMS is associated with the continuous development of the micromachining technologies. One of the most promising devices in MEMS is thermal sensors. When the first microbolometer appeared on the market, a huge interest in thermal detectors was observed. This paper is a short overview study on microbolometer geometry, different solutions and possibilities to implement them as electrical models.

Informacja

Powiązane pozycje