Temat: vacuum chamber - Katalog OPAC zbiorów

Skocz do pozycji: 1.

Tytuł:: A mechanical system for force delivery to a high vacuum chamber
Mechaniczny układ zadawania siły do urządzeń wysokiej próźni
Autorzy:: Kozioł, S.
Majcher, A.
Matecki, K.
Samborski, T.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/256739.pdf
Data publikacji:: 2006
Wydawca:: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Eksploatacji - Państwowy Instytut Badawczy
Tematy:: komora próżniowa
spiekanie impulsowe
wysoka próżnia
vacuum chamber
pulse sintering
high vacuum
Opis:: This paper presents problems connected with the realisation of complex movements of performance elements applied in vacuum chambers. Exemplary solution of a loading system applied in a device for pulse sintering of special materials in high vacuum conditions is presented.
W artykule przedstawiono problematykę związaną z realizacją złożonych ruchów elementów wykonawczych stosowanych w komorach próżniowych. Zaprezentowano przykładowe rozwiązanie układu obciążania zastosowanego w urządzeniu do impulsowego spiekania specjalnych materiałów w warunkach wysokiej próżni.
Źródło:: Problemy Eksploatacji; 2006, 4; 153-159
1232-9312
Pojawia się w:: Problemy Eksploatacji
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Skocz do pozycji: 2.

Tytuł:: System wymiany i pozycjonowania podłoży w urządzeniach PVD/CVD
The system of positioning substrates in PVD devices
Autorzy:: Samborski, T.
Kozioł, S.
Matecki, K.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/257288.pdf
Data publikacji:: 2008
Wydawca:: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Eksploatacji - Państwowy Instytut Badawczy
Tematy:: komora próżniowa
procesy PVD/CVD
śluza próżniowa
manipulator
vacuum chamber
PVD processes
load lock
substrate transporters
Opis:: W artykule przedstawiono rozwiązanie techniczne systemu wymiany i pozycjonowania podłoży w urządzeniach do badania i opracowywania technologii PVD. Składa się on z zespołu manipulatorów oraz ze śluzy do wprowadzania próbek do komory próżniowej, co pozwala na selektywną identyfikację efektów wybranych etapów procesów.
The article presents technical solutions of positioning substrates in devices for examining and developing PVD technologies. It is composed of a load lock for placing samples in a vacuum chamber and a system of substrate transporters which allow for the identification of the effects of selected process stages.
Źródło:: Problemy Eksploatacji; 2008, 2; 129-137
1232-9312
Pojawia się w:: Problemy Eksploatacji
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Informacja