- Tytuł:
- TEM Characterization of Polysilicon and Silicide Fin Fabrication Processes of FinFETs
- Autorzy:
-
Ratajczak, J.
Łaszcz, A.
Czerwinski, A.
Kątcki, J.
Tang, X.
Reckinger, N.
Yarekha, D.
Larrieu, G.
Dubois, E. - Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/1807511.pdf
- Data publikacji:
- 2009-12
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Tematy:
-
85.40.-e
68.37.Lp - Opis:
- The transmission electron microscopy characterization of various silicon and silicide fin structures intended for application in FinFET devices has been performed. The results showed that transmission electron microscopy is a very useful tool for optimization of manufacturing processes of fin nanostructures in FinFETs.
- Źródło:
-
Acta Physica Polonica A; 2009, 116, S; S-89-S-91
0587-4246
1898-794X - Pojawia się w:
- Acta Physica Polonica A
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł