- Tytuł:
-
Analiza dokładności pomiarów nanometrycznych wzorców mikrogeometrii powierzchni za pomocą mikrointerferometru i profilometru stykowego
Measurement accuracy analysis for microgeometry nanostandards with microinterferometer and stylus profilometer - Autorzy:
- Ślusarski, Ł.
- Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/209299.pdf
- Data publikacji:
- 2018
- Wydawca:
- Wojskowa Akademia Techniczna im. Jarosława Dąbrowskiego
- Tematy:
-
nanometrology
depth/height standards
microinterferometry
contact profilometry
nanometrologia
wzorce schodkowe
mikrointerferometr
profilometr stykowy - Opis:
-
W pracy zostały zbadane i przeanalizowane możliwości pomiarowe Samodzielnego Laboratorium Długości GUM w obszarze pomiarów wzorców wysokości nierówności powierzchni (o wysokości nierówności poniżej 1 μm) - tzw. nanowzorców, charakteryzujących powierzchnię w dwóch (2D) i trzech wymiarach (3D). Pomiary wykonano za pomocą mikrointerferometru oraz profilometru stykowego. W toku pomiarów określono możliwy dolny zakres pomiarowy i niepewność dla obu stanowisk.
The goal of the work, described in this paper, was to examine and analyse measurement capabilities of GUM Length and Angle Department in measurements of step height/depth standards with the values below 1 μm (nanostandards), with 2D, and 3D surface characteristics. Measurements were performed with microinterforometer and stylus profilometer. - Źródło:
-
Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej; 2018, 67, 4; 139-147
1234-5865 - Pojawia się w:
- Biuletyn Wojskowej Akademii Technicznej
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł