Analiza dokładności pomiarów nanometrycznych wzorców mikrogeometrii powierzchni za pomocą mikrointerferometru i profilometru stykowego

W pracy zostały zbadane i przeanalizowane możliwości pomiarowe Samodzielnego Laboratorium Długości GUM w obszarze pomiarów wzorców wysokości nierówności powierzchni (o wysokości nierówności poniżej 1 μm) - tzw. nanowzorców, charakteryzujących powierzchnię w dwóch (2D) i trzech wymiarach (3D). Pomiary wykonano za pomocą mikrointerferometru oraz profilometru stykowego. W toku pomiarów określono możliwy dolny zakres pomiarowy i niepewność dla obu stanowisk.

The goal of the work, described in this paper, was to examine and analyse measurement capabilities of GUM Length and Angle Department in measurements of step height/depth standards with the values below 1 μm (nanostandards), with 2D, and 3D surface characteristics. Measurements were performed with microinterforometer and stylus profilometer.