Temat: vacuum chamber - Katalog OPAC zbiorów

Skocz do pozycji: 1.

Tytuł:: Specjalizowane układy pozycjonowania podłoży w komorach próżniwych przeznaczonych do realizacji procesów PVD
Specialized systems of substrate positioning in vacuum chambers intended for PVD processes
Autorzy:: Kozioł, S.
Piątek, M.
Samborski, T.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/257679.pdf
Data publikacji:: 2007
Wydawca:: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Eksploatacji - Państwowy Instytut Badawczy
Tematy:: komora próżniowa
procesy PVD
uchwyt technologiczny
obrotnik planetarny
vacuum chamber
PVD processes
technological holder
planetary positioner
Opis:: W artykule przedstawiono rozwiązania techniczne układów pozycjonowania podłoży pokrywanych cienkimi warstwami w procesach PVD. Opisano trzystopniowy obrotnik planetarny o elastycznej, zmiennej konfiguracji, układ z poziomą osią obrotu i rozwiązania przeznaczone do całkowitego pokrywania drobnych elementów osiowo symetrycznych.
This article presents technical solutions for positioning substrates covered by thin layers in PVD processes. It describes a three-stage planetary positioner with flexible configuration with a hotizontal rotation axis. This article details solutions involving completely covering small symetrical elements.
Źródło:: Problemy Eksploatacji; 2007, 1; 117-125
1232-9312
Pojawia się w:: Problemy Eksploatacji
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Skocz do pozycji: 2.

Tytuł:: System wymiany i pozycjonowania podłoży w urządzeniach PVD/CVD
The system of positioning substrates in PVD devices
Autorzy:: Samborski, T.
Kozioł, S.
Matecki, K.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/257288.pdf
Data publikacji:: 2008
Wydawca:: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Eksploatacji - Państwowy Instytut Badawczy
Tematy:: komora próżniowa
procesy PVD/CVD
śluza próżniowa
manipulator
vacuum chamber
PVD processes
load lock
substrate transporters
Opis:: W artykule przedstawiono rozwiązanie techniczne systemu wymiany i pozycjonowania podłoży w urządzeniach do badania i opracowywania technologii PVD. Składa się on z zespołu manipulatorów oraz ze śluzy do wprowadzania próbek do komory próżniowej, co pozwala na selektywną identyfikację efektów wybranych etapów procesów.
The article presents technical solutions of positioning substrates in devices for examining and developing PVD technologies. It is composed of a load lock for placing samples in a vacuum chamber and a system of substrate transporters which allow for the identification of the effects of selected process stages.
Źródło:: Problemy Eksploatacji; 2008, 2; 129-137
1232-9312
Pojawia się w:: Problemy Eksploatacji
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Informacja