Temat: MEMS - Katalog OPAC zbiorów

Skocz do pozycji: 1.

Tytuł:: MEMS technology evaluation for submerged vehicle navigation
Autorzy:: Demkowicz, J.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/331778.pdf
Data publikacji:: 2017
Wydawca:: Polskie Towarzystwo Akustyczne
Tematy:: MEMS
IMU
INS
Opis:: The article undertakes analysis of some vital aspects of inertial navigation using MEMS. Although MEMS inertial sensors offer affordable, scaled units, and though their inherent measurement noise can be relatively easily mitigated, there are still parameters due to which they are not currently capable of meeting all requirements for accurate inertial navigation. The article presents a few aspects of MEMS gyro errors, and their estimation process in the context of INS processing flow. These errors have a serious impact on overall inertial system performance. The results of undertaken researches in that area, and pointing out the main difficulties behind the INS when using a few top MEMS technologies, were presented as well. The paper clearly states, that current MEMS technologies, including sophisticated software, does not fulfil submerged inertial navigation whilst operating in dynamic conditions, due to linear acceleration, affecting gyro performance.
Źródło:: Hydroacoustics; 2017, 20; 35-40
1642-1817
Pojawia się w:: Hydroacoustics
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Zmień widok

na półce

Skocz do pozycji: 2.

Tytuł:: Low-range tilt sensing with mems accelerometers
Autorzy:: Łuczak, S.
Kołodziej, D.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/385200.pdf
Data publikacji:: 2009
Wydawca:: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Przemysłowy Instytut Automatyki i Pomiarów
Tematy:: MEMS
accelerometer
tilt
accuracy
Opis:: Ways of adjusting MEMS accelerometers for tilt measurements over a small angular range of few degrees arc or less are considered with regard to achieving a possibly high accuracy. The paper describes some additional mechanical structures applied to overcome the problem of incompatibility between the large measuring range of MEMS accelerometers and the expected small angular measuring range.
Źródło:: Journal of Automation Mobile Robotics and Intelligent Systems; 2009, 3, 4; 93-95
1897-8649
2080-2145
Pojawia się w:: Journal of Automation Mobile Robotics and Intelligent Systems
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Zmień widok

na półce

Skocz do pozycji: 3.

Tytuł:: Kompensacja temperaturowa wybranych akcelerometrów analogowych MEMS
The temperature compensation of selected analog MEMS accelerometers
Autorzy:: Sawicki, A.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/377142.pdf
Data publikacji:: 2017
Wydawca:: Politechnika Poznańska. Wydawnictwo Politechniki Poznańskiej
Tematy:: akcelerometr
MEMS
kompensacja temperaturowa
Opis:: Wpływ temperatury na pomiary akcelerometrów analogowych opisywany jest poprzez współczynniki takie jak V_offset due to temperature czy Sensitivity due to temperature. Producenci układów scalonych podają jednak jedynie typowe wartości tych parametrów, wraz z możliwymi maksymalnymi odchyleniami. Wartości współczynników różnią się między poszczególnymi egzemplarzami elementów i powinny być wyznaczone eksperymentalnie. W niniejszym artykule zaprezentowano wyniki badań wpływu temperatury na wskazania czterech wybranych akcelerometrów. Badania przeprowadzone zostały w komorze klimatycznej dla temperatur w zakresie 0 °C ÷ 40 °C. W pracy zaprezentowano sposób wyznaczania podstawowych parametrów Sensitivity oraz V_offset jak i współczynników temperaturowych.
The influence of temperature on the measurements of analog accelerometers is described by coefficients such as V_offset due to temperature or Sensitivity due to temperature. However, producers of integrated circuits give only typical values of these parameters, along with maximum acceptable deviations. The values of coefficients differ in particular elements and should be assigned experimentally. The article presents the results of research on temperature effect on the measurements of four selected accelerometers. The measurements were obtained in a climatic chamber for temperature range from 0 ° C to 40 ° C. The study describes the methods of estimation of the basic parameters (Sensitivity, V_offset) and of temperature coefficients.
Źródło:: Poznan University of Technology Academic Journals. Electrical Engineering; 2017, 92; 105-115
1897-0737
Pojawia się w:: Poznan University of Technology Academic Journals. Electrical Engineering
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Zmień widok

na półce

Skocz do pozycji: 4.

Tytuł:: MEMS technology quality requirements as applied to multibeam echosounder
Autorzy:: Demkowicz, J.
Bikonis, K.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/331722.pdf
Data publikacji:: 2016
Wydawca:: Polskie Towarzystwo Akustyczne
Tematy:: MEMS
IMU
Multibeam Sonar
Opis:: Small, lightweight, power-efficient, and low-cost microelectromechanical system (MEMS) inertial sensors and microcontrollers, available in the market today, help reduce the instability of Multibeam Sonars. Current MEMS inertial measurement units (IMUs) come in many shapes, sizes, and costs — depending on the application and performance required. Although MEMS inertial sensors offer affordable, appropriately scaled units, they are not currently capable of meeting all requirements for accurate and precise attitudes, due to their inherent measurement noise. The article presents the comparison of different MEMS technologies, and their parameters regarding to the main application; namely, Multibeam Echo Sounders (MBES). The MEMS parameters’ quality are crucial for further MBES record- processing, the article presents the results of undertaken researches in that area, and the results are relatively positive for low-cost MEMS.
Źródło:: Hydroacoustics; 2016, 19; 75-82
1642-1817
Pojawia się w:: Hydroacoustics
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Zmień widok

na półce

Skocz do pozycji: 5.

Tytuł:: Accelerometer - Based Measurements of Axial Tilt
Autorzy:: Łuczak, S.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/384680.pdf
Data publikacji:: 2012
Wydawca:: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Przemysłowy Instytut Automatyki i Pomiarów
Tematy:: MEMS
accelerometer
tilt
measurements
Opis:: The paper deals with a specific type of tilt measurements, where an axial tilt is to be determined. The measurements are realized by means of accelerometers - MEMS devices most preferably. Various mathematical relations between the axial tilt and the Cartesian components of the gravitational acceleration are presented. Each relation is described in detail, especially in the terms of the resultant uncertainty of the measurement, as well as the requirements regarding the employed accelerometers. Results of experimental studies realized by means of commercial MEMS accelerometers are presented and discussed, especially with regard to the measurement accuracy that has been evaluated for each mathematical relation. Scope of application of each relation is proposed.
Źródło:: Journal of Automation Mobile Robotics and Intelligent Systems; 2012, 6, 1; 39-41
1897-8649
2080-2145
Pojawia się w:: Journal of Automation Mobile Robotics and Intelligent Systems
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Zmień widok

na półce

Skocz do pozycji: 6.

Tytuł:: Angle measuring by MEMS accelerometers
Autorzy:: Zidek, K.
Dovica, M.
Liska, O.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/384938.pdf
Data publikacji:: 2012
Wydawca:: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Przemysłowy Instytut Automatyki i Pomiarów
Tematy:: MEMS
Kalman filter
control
Opis:: This article contains the description of MEMS accelerometers implementation to device which is able to measure danger tilt. We can find out actual tilt in two basic axes X and Y, from -90 centigrade to +90 centigrade. Z Axis can only detect fall of device or in vehicle system very fast downhill grade during movement. For testing of the solution we select small mobile robotic carriage. Hardware and software part of solution are described. Because data from sensor are in raw format from analog MEMS Accelerometer, we use free C# library with Kalman Filter implementation to remove signal error. We can acquire next information from sensor data for example movement's trajectory in X/Y axis (Cartesian system) and actual speed in all three axes. Fast alarm is provided by RGB led diode (red color is dangerous tilt.
Źródło:: Journal of Automation Mobile Robotics and Intelligent Systems; 2012, 6, 4; 3-6
1897-8649
2080-2145
Pojawia się w:: Journal of Automation Mobile Robotics and Intelligent Systems
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Zmień widok

na półce

Skocz do pozycji: 7.

Tytuł:: Kompensacja zaburzeń ferromagnetyków twardych we wskazaniach magnetometrów MEMS
The compensation of hard iron distortions in the MEMS magnetometers measurements
Autorzy:: Sawicki, A.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/378037.pdf
Data publikacji:: 2017
Wydawca:: Politechnika Poznańska. Wydawnictwo Politechniki Poznańskiej
Tematy:: Hard-Iron
magnetometr
MEMS
Opis:: Czujniki magnetometryczne wykonane w technologii MEMS (ang. microelectromechanical system), ze względu na niewielkie wymiary, wagę oraz cenę wykorzystywane są do wyznaczania kierunku północnego w aplikacjach związanych z robotyką mobilną. Na jakość estymacji kąta obrotu wpływ mają zarówno zaburzenia pola magnetycznego powstałe na skutek obecności ferromagnetyków twardych (tzw. Hard-Iron distortion) jak i ferromagnetyków miękkich (tzw. Soft-Iron distortion). W niniejszym artykule zaprezentowano ideę estymacji kąta heading, procedurę kalibracyjną magnetometru jak i porównanie trzech wybranych algorytmów kompensacji zaburzeń od ferromagnetyków twardych. Prezentowane metody różnią się między sobą złożonością, kosztem numerycznym jak i efektywnością działania.
The magnetometer sensors, manufactured in microelectromechanical system (MEMS) technology, due to small dimension, weight and price are used for the north direction determination in applications related to a mobile robotics. The quality of the rotation angle estimation is influenced by disturbances of the magnetic field caused by both the presence of hard ferromagnetic (so-called Hard-Iron distortion) and soft ferromagnetic materials (so-called Soft-Iron distortion). The article presents the idea of heading angle estimation, magnetometer calibration procedure and compares three selected compensative algorithms of Hard-Iron distortion. Described methods differ in complexity, numerical cost and efficiency. The presented methods vary in complexity, numerical expense and efficiency.
Źródło:: Poznan University of Technology Academic Journals. Electrical Engineering; 2017, 90; 313-323
1897-0737
Pojawia się w:: Poznan University of Technology Academic Journals. Electrical Engineering
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Zmień widok

na półce

Skocz do pozycji: 8.

Tytuł:: Digital Vibration Sensor Constructed with MEMS Technology
Autorzy:: Mazurek, G.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/227320.pdf
Data publikacji:: 2012
Wydawca:: Polska Akademia Nauk. Czytelnia Czasopism PAN
Tematy:: accelerometer
vibration measurement
MEMS
Opis:: In this paper, a new digital sensor of acceleration is described. The sensor is based on MEMS device and is capable of measuring both static (gravity) and dynamic (vibration) accelerations. Its primary application is the measurement of vibrations in buildings and other constructions. The aim of this project was to design a low-cost, small-weight small-size acceleration sensor that can operate within simple sensor networks.
Źródło:: International Journal of Electronics and Telecommunications; 2012, 58, 2; 117-122
2300-1933
Pojawia się w:: International Journal of Electronics and Telecommunications
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Zmień widok

na półce

Skocz do pozycji: 9.

Tytuł:: Lateral Force Calibration Method Used for Calibration of Atomic Force Microscope
Autorzy:: Ekwińska, M.
Rymuza, Z.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/308165.pdf
Data publikacji:: 2009
Wydawca:: Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
Tematy:: AFM
calibration structure
cantilever
MEMS
Opis:: Modern heterogeneous micro- and nanostructures usually integrate modules fabricated using various materials and technologies. Moreover, it has to be emphasized that the macro and micro nanoscale material parameters are not the same. For this reason it has become crucial to identify the nanomechanical properties of the materials commonly used in micro- and nanostructure technology. One of such tests is a nanowear test performed using the atomic force microscope (AFM). However, to obtain quantitative measurement results a precision calibration step is necessary. In this paper a novel approach to calibration of lateral force acting on the tip of an AFM cantilever is discussed. Presented method is based on application of known lateral force directly on the tip using a special test structure. Such an approach allows for measurements of nanowear parameters (force, displacement) with the uncertainty better than š3%. The calibration structure designed specifically for this calibration method is also presented.
Źródło:: Journal of Telecommunications and Information Technology; 2009, 4; 83-87
1509-4553
1899-8852
Pojawia się w:: Journal of Telecommunications and Information Technology
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Zmień widok

na półce

Skocz do pozycji: 10.

Tytuł:: Automation of determining the range of values for MEMS resistive parameters
Autorzy:: Teslyuk, V.
Beregovska, K.
Pukach, A.
Ivantsiv, R. A.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/410744.pdf
Data publikacji:: 2016
Wydawca:: Polska Akademia Nauk. Oddział w Lublinie PAN
Tematy:: MEMS
resistor
range determination
automation
Opis:: This paper is devoted to the development of automating methods of the ranges determination process of the resistance values measurements for the investigated MEMS resistive parameters (strain gauges, piezoresistors, thermistors, magnetoresistors and photoresistors, etc.), electric resistance of which is changing during functioning of MEMS, in order to improve the accuracy of investigated resistive parameter value determining and optimization of the entire measuring process in general. The developed method for automation of values range determination of the MEMS resistive parameters measurand is based on the designed models and algorithm of automation for the process of an exemplary resistor value determination. A measurand of the investigated MEMS resistive parameter is located in a neighborhood of this exemplary resistor value. The abovementioned method is also based on the developed model and algorithm for automation of the values range determination of the MEMS resistive parameters measurand.
Źródło:: ECONTECHMOD : An International Quarterly Journal on Economics of Technology and Modelling Processes; 2016, 5, 2; 105-112
2084-5715
Pojawia się w:: ECONTECHMOD : An International Quarterly Journal on Economics of Technology and Modelling Processes
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Zmień widok

na półce

Skocz do pozycji: 11.

Tytuł:: Modelowanie optycznego elementu przełącznicy OXC opartego na kątowym napędzie elektrostatycznym MEMS
Modeling the optical element of the OXC switch based, on angular electrostatic drive
Autorzy:: Sulima, R.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/159504.pdf
Data publikacji:: 2007
Wydawca:: Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Elektrotechniki
Tematy:: MEMS
przełącznik optyczny
napęd grzebieniowy
mikrolusterko
Opis:: Przełączniki optyczne MEMS wypierają dotychczasowe przełączniki elektroniczne. Niniejszy artykuł przedstawia rozwiązanie konstrukcje do wykorzystania w sterowaniu mikrolusterkami w sieciach światłowodowych. Zaprojektowany układ napędowy charakteryzuje się dużymi kątami wychylenia elementu czynnego, co zapewnia szerokie stosowanie. Konstrukcja opiera się o elektrostatyczny aktuator grzebieniowy o ruchu wahadłowym.
Optical MEMS switches supplant the up to now used electronic switches. The present paper presents designs for control using MEMS in waveguide nets. The drive system show here is featured by big deflection angles of the active element which ensures wide application. The design is based on an electrostatic comb-drive aktuator with perpendicular moment. The comb-drive provides high amounts of energy thus high driving torques sufficient to move the scanning mirror.
Źródło:: Prace Instytutu Elektrotechniki; 2007, 231; 135-150
0032-6216
Pojawia się w:: Prace Instytutu Elektrotechniki
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Zmień widok

na półce

Skocz do pozycji: 12.

Tytuł:: Ocena przydatności modułów nawigacji bezwładnościowej w bezdotykowych pomiarach położenia kątowego członów maszyn roboczych
Autorzy:: Chołodowski, J.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/1190007.pdf
Data publikacji:: 2016
Wydawca:: Politechnika Wrocławska. Oficyna Wydawnicza Politechniki Wrocławskiej
Tematy:: system wsparcia operatora
pozycjonowanie
nawigacja bezwładnościowa
czujnik MEMS
mikrokontroler
operator assistance system
positioning
IMU
MEMS
sensors
microcontroller
Opis:: Advantages of automation in industrial vehicles and work machines are numerous. Even partial automation of work machine’s functions contribute to significant improvement in safety, efficiency and precision. For example, risk of accidental damage of power cables and water or gas pipes planted underground can be reduced by application of excavation control system with digging depth limiter. Industrial vehicles equipped with operator assistance systems, e.g. dozers and graders fitted with blade positioning systems, can be driven at higher speed then conventional ones, while performing the same duties. They are also able to accomplish particular task after smaller number of iterations. What is more, costs of surveyors’ and highly experienced operators’ salaries can be declined. Eventually, machines enriched by operator assistance systems, e.g. excavator having a grade control system onboard, can be involved in very unusual and precise works as slope grading, underwater digging and any works conducted after dusk. On the other hand, purchase and installation costs of operator assistance system are relatively high, especially when compared with prices of small industrial vehicles, e.g. so called mini excavators. Cost of said systems could be reduced in many different ways, for example, if cheaper electronic components, e.g. MEMS sensors, were used. Following article presents a contactless method and system for measurement of industrial vehicle’s bodies angular position. The method engages two Attitude and Heading Reference System (AHRS) modules which shall be attached to different work machine bodies. It was empirically verified using two self-made, inexpensive AHRS modules. Both of them consisted of STM32 F4 microcontroller and a triad of triaxial, MEMS sensors: a gyroscope, an accelerometer and a magnetometer. During tests first of modules was fixed to the frame and the second to the bucket of Avant 218 mini loader. Angular position of bucket with respect to vehicle frame was measured. Industrial grade, electronic GEMAC IS2A60P20-0 inclinometer and an optical instrument were used as reference tolls. Achieved results revealed overall error of examined system which is smaller than 1.05O . Further calculations, based on actual dimensions of IHI 35N3 and Komatsu PC750 LC-6 excavators’ arms, proved that the examined system is applicable for excavator arm bodies angular position identification. The distortion of bucket tip coordinates estimation using presented system was computed. In case of bigger Komatsu PC750 vertical and horizontal distortion equaled, respectively, 350 mm and 195 mm. In case of smaller IHI 35N3 both errors turned out to be at least 2.3 times smaller. Summing up, solution examined within the article fits small industrial vehicles particularly well. That is why an idea of a simple and readily available digging depth control system for mini excavators based on presented solution has been conceived. In order to embody said idea, presented system shall be enriched with two additional AHRS modules and operator-system interface, which would enable necessary adjustments. The system should be provided with dimensions of each body of excavator arm and maximum allowable digging depth. A LED or a sound signal could alert the operator in case of exceeding the established limit.
Źródło:: Interdisciplinary Journal of Engineering Sciences; 2016, 4, 1; 24--37
2300-5874
Pojawia się w:: Interdisciplinary Journal of Engineering Sciences
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Zmień widok

na półce

Skocz do pozycji: 13.

Tytuł:: Materiały i procesy stosowane w wytwarzaniu elementów MEMS
Materials and processes for manufacturing the MEMS components
Autorzy:: Horoszkiewicz, J.
Ruszaj, A.
Skoczypiec, S.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/269875.pdf
Data publikacji:: 2011
Wydawca:: Wrocławska Rada Federacji Stowarzyszeń Naukowo-Technicznych
Tematy:: MEMS
materiały
technologie
zastosowanie
materials
technologies
application
Opis:: W artykule przedstawiono zarys problematyki związanej z mikro - elektro - mechanicznymi systemami, a w szczególności podano informacje dotyczące stosowanych materiałów i technologii do ich wytwarzania. Obszar zainteresowań tematyką MEMS jest bardzo duży. Układy MEMS znajdują zastosowanie we wszystkich dziedzinach życia. Proces ich projektowania jest interdyscyplinarny i wymaga zastosowania specjalistycznych aplikacji. Podstawowym materiałem stosowanym w wytwarzania układów MEMS jest krzem. Obecnie identyfikowanych jest ponad 200 technologii stosowanych w wytwarzaniu MEMS, a wiele innych jest jeszcze na etapie badań laboratoryjnych.
The paper presents the outline of problems connected with MEMS manufacturing, especially data related to materials and technologies applied in practice. Area of MEMS is interested very wide. MEMS have been applied almost in each branch of our life. Process of MEMS design is interdisciplinary and needs a sophisticated applications. The main material in MEMS manufacturing is silicon (Si). Nowadays over 200 special technologies are applied in MEMS manufacturing; many of other is in the stage of laboratory investigations. They are presented in this paper.
Źródło:: Inżynieria Maszyn; 2011, R. 16, z. 4; 19-26
1426-708X
Pojawia się w:: Inżynieria Maszyn
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Zmień widok

na półce

Skocz do pozycji: 14.

Tytuł:: Study of array of MEMS inertial measurement units under quasi-stationary and dynamic conditions
Autorzy:: Demkowicz, Jerzy
Bikonis, Krzysztof
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/1955599.pdf
Data publikacji:: 2021
Wydawca:: Politechnika Gdańska. Wydział Inżynierii Mechanicznej i Okrętownictwa
Tematy:: gyro
accelerometer
MEMS
inertial units
sensor array
Opis:: A measurement system includes all components in a chain of hardware and software that leads from a measured variable to processed data. In that context, the type and quality of the sensors or measuring devices are critical to any measurement system. MEMS/IMU sensors lag behind leading technologies in this respect, but the MEMS/IMU performance rapidly changes while is relatively inexpensive. For this reason, the paper proposes some investigations of currently available MEMS/IMUs, but in an array configuration. The article presents the results of research undertaken on this type of IMU sensor configuration under quasi-stationary and dynamic conditions and answers the question of whether the precision of current MEMS technologies for acceleration and angular velocity sensors is still improved using this kind of approach.
Źródło:: Polish Maritime Research; 2021, 3; 150-155
1233-2585
Pojawia się w:: Polish Maritime Research
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Zmień widok

na półce

Skocz do pozycji: 15.

Tytuł:: Quantum mechanical aspects in the MEMS/NEMS technology
Autorzy:: Słowik, O.
Orłowska, K.
Kopiec, D.
Janus, P.
Grabiec, P.
Gotszalk, T.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/114220.pdf
Data publikacji:: 2016
Wydawca:: Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
Tematy:: MEMS
NEMS
OBD
FOI
quantum
force
resolution
Opis:: According to the scaling laws for nanomechanical resonators, many of their metrological properties improve when downscaled. This fact encourages for constant miniaturization of MEMS/NEMS based sensors. It is a well known fact, that the laws of classical physics cannot be used to describe the systems which are arbitrarily small. In consequence, the classical description of nanoresonators must break down for sufficiently small and cool systems and then the quantum effects cannot be neglected. One of the fundamental question which arises is, how one may investigate quantum effects in MEMS/NEMS sensors and what is the influence of quantum effects on the performance of such systems. In this paper we would like to raise those issues by presenting the results of our work related to our estimations and calculations of MEMS/NEMS dynamics. The first and second sections are of theoretical character. In the first section (Classical modeling), we describe the classical methods for describing the resonator dynamics and the classical limit on the resolution of MEMS/NEMS based force sensors, which is set by the thermomechanical noise. In the second section (Quantum aspects), we concentrate on the quantum description of micro and nanoresonators and the influence of quantum effects, such as zero-point motion and back-action, on their performance (quantum limits). The third section is devoted to the presentation of our experimental methods of MEMS/NEMS deflection metrology, i.e. Optical Beam Deflection method (OBD) and fibre optics interferometry.
Źródło:: Measurement Automation Monitoring; 2016, 62, 3; 87-91
2450-2855
Pojawia się w:: Measurement Automation Monitoring
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Zmień widok

na półce

Informacja

Wyszukujesz frazę "MEMS" wg kryterium: Temat

Źródło danych

Dostawca treści

Kolekcja

Rok wydania

Wydawca

Temat

Autor

Typ dokumentu

Język