Kompensacja temperaturowa wybranych akcelerometrów analogowych MEMS

Wpływ temperatury na pomiary akcelerometrów analogowych opisywany jest poprzez współczynniki takie jak V_offset due to temperature czy Sensitivity due to temperature. Producenci układów scalonych podają jednak jedynie typowe wartości tych parametrów, wraz z możliwymi maksymalnymi odchyleniami. Wartości współczynników różnią się między poszczególnymi egzemplarzami elementów i powinny być wyznaczone eksperymentalnie. W niniejszym artykule zaprezentowano wyniki badań wpływu temperatury na wskazania czterech wybranych akcelerometrów. Badania przeprowadzone zostały w komorze klimatycznej dla temperatur w zakresie 0 °C ÷ 40 °C. W pracy zaprezentowano sposób wyznaczania podstawowych parametrów Sensitivity oraz V_offset jak i współczynników temperaturowych.

The influence of temperature on the measurements of analog accelerometers is described by coefficients such as V_offset due to temperature or Sensitivity due to temperature. However, producers of integrated circuits give only typical values of these parameters, along with maximum acceptable deviations. The values of coefficients differ in particular elements and should be assigned experimentally. The article presents the results of research on temperature effect on the measurements of four selected accelerometers. The measurements were obtained in a climatic chamber for temperature range from 0 ° C to 40 ° C. The study describes the methods of estimation of the basic parameters (Sensitivity, V_offset) and of temperature coefficients.