- Tytuł:
- Porosity of Low-κ Materials Studied by Slow Positron Beam
- Autorzy:
-
Brusa, R. S.
Macchi, C.
Mariazzi, S.
Karwasz, G. P. - Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/2042213.pdf
- Data publikacji:
- 2005-04
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Tematy:
-
71.60.+z
78.70.Bj
68.60.Dv
68.90.+g - Opis:
- The information about porosity in low-κ materials obtainable by depth profiling with positron annihilation spectroscopy is reviewed. In particular we focus on Doppler broadening spectroscopy and 2-3γ ratio of positronium measurements on SiOCH and amorphous carbon a-C:F:H thin films produced by plasma enhanced chemical vapour deposition.
- Źródło:
-
Acta Physica Polonica A; 2005, 107, 4; 702-711
0587-4246
1898-794X - Pojawia się w:
- Acta Physica Polonica A
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł