Porosity of Low-κ Materials Studied by Slow Positron Beam

Szczegóły
Opis

Tytuł:: Porosity of Low-κ Materials Studied by Slow Positron Beam
Autorzy:: Brusa, R. S.
Macchi, C.
Mariazzi, S.
Karwasz, G. P.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/2042213.pdf
Data publikacji:: 2005-04
Wydawca:: Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
Tematy:: 71.60.+z
78.70.Bj
68.60.Dv
68.90.+g
Źródło:: Acta Physica Polonica A; 2005, 107, 4; 702-711
0587-4246
1898-794X
Język:: angielski
Prawa:: Wszystkie prawa zastrzeżone. Swoboda użytkownika ograniczona do ustawowego zakresu dozwolonego użytku
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki
: Artykuł

Przejdź do źródła

The information about porosity in low-κ materials obtainable by depth profiling with positron annihilation spectroscopy is reviewed. In particular we focus on Doppler broadening spectroscopy and 2-3γ ratio of positronium measurements on SiOCH and amorphous carbon a-C:F:H thin films produced by plasma enhanced chemical vapour deposition.

Informacja

Powiązane pozycje