- Tytuł:
- Silicon TCD for the methane and carbon monoxide detection
- Autorzy:
-
Łysko, J. M.
Latecki, B.
Nikodem, M.
Górska, M.
Mróz, J.
Małachowski, M. - Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/308823.pdf
- Data publikacji:
- 2005
- Wydawca:
- Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
- Tematy:
-
detector
silicon
gas mixture - Opis:
- Analytical model, design principles, technology and test results concerning a thermal conductivity detector (TCD) are presented. Prototype TCD units fabricated using the standard silicon IC VLSI and MEMS techniques are reported. The detectors are integrated with gas separation columns and micro-valve dosing systems. Initial tests were carried out in a gas mixture containing methane, carbon monoxide, oxygen, hydrogen and nitrogen.
- Źródło:
-
Journal of Telecommunications and Information Technology; 2005, 1; 94-97
1509-4553
1899-8852 - Pojawia się w:
- Journal of Telecommunications and Information Technology
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł