Silicon TCD for the methane and carbon monoxide detection

Szczegóły
Opis

Tytuł:: Silicon TCD for the methane and carbon monoxide detection
Autorzy:: Łysko, J. M.
Latecki, B.
Nikodem, M.
Górska, M.
Mróz, J.
Małachowski, M.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/308823.pdf
Data publikacji:: 2005
Wydawca:: Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
Tematy:: detector
silicon
gas mixture
Źródło:: Journal of Telecommunications and Information Technology; 2005, 1; 94-97
1509-4553
1899-8852
Język:: angielski
Prawa:: Wszystkie prawa zastrzeżone. Swoboda użytkownika ograniczona do ustawowego zakresu dozwolonego użytku
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki
: Artykuł

Przejdź do źródła

Analytical model, design principles, technology and test results concerning a thermal conductivity detector (TCD) are presented. Prototype TCD units fabricated using the standard silicon IC VLSI and MEMS techniques are reported. The detectors are integrated with gas separation columns and micro-valve dosing systems. Initial tests were carried out in a gas mixture containing methane, carbon monoxide, oxygen, hydrogen and nitrogen.

Informacja

Powiązane pozycje