- Tytuł:
- ZnO Thin Films Deposited on Sapphire by High Vacuum High Temperature Sputtering
- Autorzy:
-
Borysiewicz, M. A.
Pasternak, I.
Dynowska, E.
Jakieła, R.
Kolkovski, V.
Dużyńska, A.
Kamińska, E.
Piotrowska, A. - Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/2048109.pdf
- Data publikacji:
- 2011-05
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Tematy:
-
81.05.Dz
81.15.Cd
61.05.cp
68.37.Hk
68.37.Ps
68.49.Sf
78.55.Et - Opis:
- ZnO (0001) layers on sapphire (0001) substrates were fabricated by means of high temperature high vacuum magnetron sputtering. The layers were deposited onto a thin MgO buffer and a low temperature ZnO nucleation layer, which is a technology commonly used in MBE ZnO growth. This paper reports on using this technology in the sputtering regime.
- Źródło:
-
Acta Physica Polonica A; 2011, 119, 5; 686-688
0587-4246
1898-794X - Pojawia się w:
- Acta Physica Polonica A
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł