Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Wyszukujesz frazę "Kim, Myungsuk" wg kryterium: Autor


Wyświetlanie 1-1 z 1
Tytuł:
Dissolution Behavior of Metal Impurities and Improvement of Reclaimed Semiconductor Wafer Cleaning by Addition of Chelating Agent
Autorzy:
Ryu, Keunhyuk
Kim, Myungsuk
Roh, Jaeseok
Lee, Kun-Jae
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/2049175.pdf
Data publikacji:
2021
Wydawca:
Polska Akademia Nauk. Czytelnia Czasopism PAN
Tematy:
reclaimed silicon wafer
wafer cleaning
metal impurity
metal complex
chelating agent
Opis:
As a wafer cleaning process, RCA (Radio Corporation of America) cleaning is mainly used. However, RCA cleaning has problems such as instability of bath life, re-adsorption of impurities and high-temperature cleaning. Herein, we tried to improve the purity of silicon wafers by using a chelating agent (oxalic acid) to solve these problems. Compounds produced by the reaction between the cleaning solution and each metal powder were identified by referring to the pourbaix diagram. All metals exhibited a particle size distribution of 10 μm or more before reaction, but a particle size distribution of 500 nm or less after reaction. In addition, it was confirmed that the metals before and after the reaction showed different absorbances. As a result of elemental analysis on the surface of the reclaimed silicon wafer cleaned through such a cleaning solution, it was confirmed that no secondary phase was detected other than Si.
Źródło:
Archives of Metallurgy and Materials; 2021, 66, 4; 977-981
1733-3490
Pojawia się w:
Archives of Metallurgy and Materials
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
    Wyświetlanie 1-1 z 1

    Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies