- Tytuł:
- Structural Changes in Flash Lamp Annealed Amorphous Si Layers Probed by Slow Positron Implantation Spectroscopy
- Autorzy:
-
Anwand, W.
Schumann, Th.
Brauer, G.
Skorupa, W.
Xiong, S.
Wu, C.
Gebel, T. - Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/1812451.pdf
- Data publikacji:
- 2008-05
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Tematy:
-
61.80.Ba
78.70.Bj
81.05.Ea
81.07.Bc - Opis:
- Flash lamp annealing was applied to the modification of thin amorphous Si layers on $SiO_2$ and glass. Slow positron implantation spectroscopy was used for the characterisation of the microstructure before and after flash lamp annealing. Changes in the structure down to a depth of some micrometres below the surface observed with slow positron implantation spectroscopy will be presented and discussed.
- Źródło:
-
Acta Physica Polonica A; 2008, 113, 5; 1273-1278
0587-4246
1898-794X - Pojawia się w:
- Acta Physica Polonica A
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł