Temat: Microelectromechanical Systems (MEMS) - Katalog OPAC zbiorów

Skocz do pozycji: 1.

Tytuł:: MEMS accelerometer simulations in Matlab/SIMULINK and COMSOL Multiphysics
Autorzy:: Nazdrowicz, J.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/397778.pdf
Data publikacji:: 2017
Wydawca:: Politechnika Łódzka. Wydział Mikroelektroniki i Informatyki
Tematy:: microelectromechanical systems
simulation model
microaccelerometer
MATLAB
SIMULINK
MEMS modeling
SimScape toolbox
mikroukład elektromechaniczny
model symulacyjny
mikroakcelerometr
modelowanie MEMS
SimScape
Opis:: In this paper modelling and simulation of MEMS accelerometers in Matlab/SIMULINK environment are presented. Results of simulations of three different approaches: mathematical, electrical equivalent and physical models are compared with FEM accelerometer model created in COMSOL software. Results of simulations are analyzed for displacement response for two of the most popular spring geometries - folded and straight. Author takes into consideration crucial aspects of damping coefficients influence on accelerometer performance.
Źródło:: International Journal of Microelectronics and Computer Science; 2017, 8, 4; 161-167
2080-8755
2353-9607
Pojawia się w:: International Journal of Microelectronics and Computer Science
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Skocz do pozycji: 2.

Tytuł:: Modeling and simulations of MEMS gyroscope with MATLAB/SIMULINK package
Autorzy:: Nazdrowicz, J.
Powiązania:: https://bibliotekanauki.pl/articles/397914.pdf
Data publikacji:: 2017
Wydawca:: Politechnika Łódzka. Wydział Mikroelektroniki i Informatyki
Tematy:: MEMS
gyroscope
angular velocity sensor
microelectromechanical systems
model simulation
microaccelerometer
MATLAB
SIMULINK
MEMS modeling
equivalent circuit model
żyroskop
czujnik prędkości kątowej
mikroukład elektromechaniczny
model symulacyjny
akcelerometr
modelowanie MEMS
model obwodu zastępczego
Opis:: This paper presents developed mathematical model of MEMS gyroscope created in Matlab/SIMULINK environment. The model can be very useful for calculating MEMS gyroscope geometrical parameters. These parameters play very significant role, because they have huge and direct impact on device response, performance and further possibilities of application. Results of simulations are presented in this article separately for drive and sense direction. In addition there are also results in frequency domain presented. With all these results we obtain quick overview of behavior this kind of MEMS device and response characteristics.
Źródło:: International Journal of Microelectronics and Computer Science; 2017, 8, 1; 21-28
2080-8755
2353-9607
Pojawia się w:: International Journal of Microelectronics and Computer Science
Dostawca treści:: Biblioteka Nauki

Artykuł

Informacja