- Tytuł:
- SEM Characterization of Multilayer Structures
- Autorzy:
-
Aristov, V. V.
Dryomova, N. N.
Kireev, V. A.
Razgonov, I. I.
Yakimov, E. B. - Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/1924322.pdf
- Data publikacji:
- 1993-01
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Tematy:
-
79.20.Fv
68.35.Dv - Opis:
- The possibilities of non-destructive multilayer structure characterization using the backscattering electron and modulated cathodoluminescence modes of the SEM have been discussed. It is shown that these techniques allow one to measure the parameters of thin layers of the thickness of about 10 nm.
- Źródło:
-
Acta Physica Polonica A; 1993, 83, 1; 81-86
0587-4246
1898-794X - Pojawia się w:
- Acta Physica Polonica A
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł