- Tytuł:
-
Odchylanie wiązki elektronów dużej mocy w urządzeniach EB-PVD
Magnetic deflection of the high energy electron beam in EB-PVD devices - Autorzy:
-
Sielanko, W.
Czopik, A.
Jędrzejczyk, M.
Kulabko, A.
Krawczyk, S.
Kozłowski, M. - Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/257641.pdf
- Data publikacji:
- 2007
- Wydawca:
- Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Eksploatacji - Państwowy Instytut Badawczy
- Tematy:
-
wiązka elektronów
WE
układ odchylania
EB-PVD
electron beam
EB
deflection system - Opis:
-
Nanoszenie warstw metodą EB-PVD (Electron Beam Physical Vapour Deposition) jest bardzo atrakcyjne, jeśli idzie o efekty techniczne i produkcyjne, a jej stosowanie w świecie rozszerza się. Wiele światowych firm, które zajmowały się spawaniem elektronowym, oferuje urządzenia i wyrzutnie dla tej technologii [1-5]. Przedmiotem pracy było opracowanie rozwiązań umożliwiających odchylanie pod dużymi kątami wysokoenergetycznej WE, wykorzystywanej między innymi w urządzeniach próżniowych do kontrolowanego i precyzyjnego nakładania cienkich warstw metalicznych na przygotowanych podłożach metodą EB-PVD.
Depositing the layers by the EB-PVD method is very attractive as far as technical and production effects are concerned, and its usage is spreading. Many worldwide companies that specialize in electron beam welding offer devices and electron guns for this technology. The objective was to develop solutions that enable the deflection of high energy electron beams, in order to control and precisely deposit thin metallic layers on the prepared surfaces using EB-PVD method. - Źródło:
-
Problemy Eksploatacji; 2007, 1; 137-144
1232-9312 - Pojawia się w:
- Problemy Eksploatacji
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł