Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Wyszukujesz frazę "metoda próżniowa" wg kryterium: Temat


Wyświetlanie 1-1 z 1
Tytuł:
Mikrokomputerowy system sterowania przemysłową linią próżniową do nanoszenia cienkich warstw metodą jonowego rozpylania magnetronowego
Microcomputer control system for an industrial, technological equipment for thin film deposition by means of the ion sputtering method
Autorzy:
Marszałek, K.
Dziadecki, A.
Żegleń, T.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/152416.pdf
Data publikacji:
2002
Wydawca:
Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
Tematy:
mikrokomputerowy system sterowania
przemysłowa linia próżniowa
metoda jonowego rozpylania magnetronowego
microcomputer control system
technological equipment
Opis:
The paper presents a description of a microcomputer control system for an industrial, technological equipment for thin film deposition by means of the ion sputtering method. The construction of the vacuum part of the equipment as well as supply and controlling system is presented. Computer program with different working modes of the system and the methods of controlling such system parameters like the sputtering current, transport velocity of the substrates, pressure of the working gas and substrate temperature.
Źródło:
Pomiary Automatyka Kontrola; 2002, R. 48, nr 3, 3; 5-8
0032-4140
Pojawia się w:
Pomiary Automatyka Kontrola
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
    Wyświetlanie 1-1 z 1

    Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies