Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Wyszukujesz frazę "in-situ measurements" wg kryterium: Temat


Wyświetlanie 1-1 z 1
Tytuł:
Laser reflectance interferometry system with a 405 nm laser diode for in situ measurements of CVD diamond thickness
Autorzy:
Kraszewski, M.
Bogdanowicz, R.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/221654.pdf
Data publikacji:
2013
Wydawca:
Polska Akademia Nauk. Czytelnia Czasopism PAN
Tematy:
interferometry
thin films
CVD
diamond
in situ measurements
Opis:
In situ monitoring of the thickness of thin diamond films during technological processes is important because it allows better control of deposition time and deeper understanding of deposition kinetics. One of the widely used techniques is laser reflectance interferometry (LRI) which enables non-contact measurement during CVD deposition. The authors have built a novel LRI system with a 405 nm laser diode which achieves better resolution compared to the systems based on He-Ne lasers, as reported so far. The system was used for in situ monitoring of thin, microcrystalline diamond films deposited on silicon substrate in PA-CVD processes. The thickness of each film was measured by stylus profilometry and spectral reflectance analysis as a reference. The system setup and interferometric signal processing are also presented for evaluating the system parameters, i.e. measurement uncertainty, resolution and the range of measurable film thickness.
Źródło:
Metrology and Measurement Systems; 2013, 20, 4; 543-554
0860-8229
Pojawia się w:
Metrology and Measurement Systems
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
    Wyświetlanie 1-1 z 1

    Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies