- Tytuł:
-
Opis uszkodzeń warstwy DLC i podłoża Si w badaniach mikrotwardości z rejestracją sygnału EA
Description of damages of the DLC layer on the Si substrate with registration of AE signal - Autorzy:
- Piątkowska, A.
- Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/189192.pdf
- Data publikacji:
- 2009
- Wydawca:
- Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
- Tematy:
-
mikrotwardość
pop-in
emisja akustyczna
DLC
microindentation
acoustic emission - Opis:
-
W pracy przedstawione zostały wyniki pomiarów mikrotwardości z wgłębnikiem Vickersa. Badania przeprowadzono na układzie warstwa DLC – podłoże krzemowe. Jednocześnie z pomiarem mikrotwardości realizowany był zapis generowanych sygnałów emisji akustycznej. Wyniki mikrotwardości w postaci wykresów sił obciążania-odciążania oraz charakterystyki czasowe sygnałów EA były porównywane ze zdjęciami SEM odcisków wgłębnika. W pomiarach zaobserwowano efekt "pop-in", który korelował z występowaniem impulsów EA. Zwiększenie nacisków obciążenia skutkowało zwiększeniem uszkodzenia i odzwierciedlało się większą liczbą impulsów EA. Cienka warstwa DLC zwiększyła odporność na uszkodzenia.
This paper presents the results of the measurements of microindentation using Vickers’ indenter. The research was carried out with the following system: the DLC (Diamond Like Carbon) layer deposited on silicon substrate. At the same time, the measurements of micro-indentation acoustic emission signals were recorded. The results of microindentation forces in the form of load-displacement curves and registered AE-time characteristics of the AE signals were compared with the SEM images of indentation. During the measurements, "pop-in" effects were observed as discontinuities of the loading curve, which correlate with AE impulses. A rise of the maximal load resulted in the increase of damage and caused multiplication of AE pulses. Due to the fact the DLC layer was thin, most AE pulses were generated during the damaging of Si substrate. The thin layer of DLC increased mechanical resistance to damage. - Źródło:
-
Tribologia; 2009, 2; 173-181
0208-7774 - Pojawia się w:
- Tribologia
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł