- Tytuł:
-
Specjalizowane układy pozycjonowania podłoży w komorach próżniwych przeznaczonych do realizacji procesów PVD
Specialized systems of substrate positioning in vacuum chambers intended for PVD processes - Autorzy:
-
Kozioł, S.
Piątek, M.
Samborski, T. - Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/257679.pdf
- Data publikacji:
- 2007
- Wydawca:
- Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Eksploatacji - Państwowy Instytut Badawczy
- Tematy:
-
komora próżniowa
procesy PVD
uchwyt technologiczny
obrotnik planetarny
vacuum chamber
PVD processes
technological holder
planetary positioner - Opis:
-
W artykule przedstawiono rozwiązania techniczne układów pozycjonowania podłoży pokrywanych cienkimi warstwami w procesach PVD. Opisano trzystopniowy obrotnik planetarny o elastycznej, zmiennej konfiguracji, układ z poziomą osią obrotu i rozwiązania przeznaczone do całkowitego pokrywania drobnych elementów osiowo symetrycznych.
This article presents technical solutions for positioning substrates covered by thin layers in PVD processes. It describes a three-stage planetary positioner with flexible configuration with a hotizontal rotation axis. This article details solutions involving completely covering small symetrical elements. - Źródło:
-
Problemy Eksploatacji; 2007, 1; 117-125
1232-9312 - Pojawia się w:
- Problemy Eksploatacji
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł