- Tytuł:
-
Pomiary energii promieniowania skrajnego nadfioletu
Energy measurement of extreme ultraviolet radiation - Autorzy:
-
Mikołajczyk, J.
Bielecki, Z. - Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/327398.pdf
- Data publikacji:
- 2006
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Polskie Towarzystwo Diagnostyki Technicznej PAN
- Tematy:
-
optoelektronika
detekcja sygnałów optycznych
pomiar energii
promieniowanie EUV
nanolitografia
optoelectronics
detection of optical signals
energy measurement
EUV radiation
nanolithography - Opis:
-
W pracy omówiono system detekcji promieniowania skrajnego nadfioletu. Umożliwia on pomiar energii impulsów promieniowania w zakresie długości fal (13,5 š 0,5) nm. Przeprowadzone analizy i badania miały na celu określenie możliwości odniesienia wyników uzyskanych w tym zakresie długości fal do pasma (13,5 š 0,13) nm. W pracy zaprezentowano wyniki pomiaru widma promieniowania emitowanego ze źródła laserowo-plazmowego z ksenonową tarczą gazową dla różnych warunków wytwarzania plazmy. Na podstawie rezultatów otrzymanych za pomocą wzorcowego przyrządu E-Mon wyznaczono wartość tzw. skalibrowanej czułości widmowej systemu, która umożliwia odniesienie wyników pomiarów do pasma (13,5 š 0,13) nm.
The paper presents the IOE detection system for energy measurement of EUV radiation. The system measures energy of radiation pulses within the wavelength range of (13,5 š 0,5) nm. The described analyses and experiments determine possibilities of reference of results obtained from the system to the spectral range of (13,5 š 0,13) nm. The changes of radiation spectrum emitted from a laser-plasma source with xenon gas-puff target are presented. The results obtained from the standard E-Mon meter make it possible to determine a calibrated sensitivity of the IOE detection system within the wavelength range of (13,5 š 0,13) nm. - Źródło:
-
Diagnostyka; 2006, 3(39); 155-160
1641-6414
2449-5220 - Pojawia się w:
- Diagnostyka
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł