- Tytuł:
- Investigation of Phosphorus Release during Annealing of Au Contacts to InP
- Autorzy:
-
Piotrowska, A.
Kamińska, E.
Kwiatkowski, S.
Turos, A. - Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/1923864.pdf
- Data publikacji:
- 1992-11
- Wydawca:
- Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
- Tematy:
- 73.40.Ns
- Opis:
- The analysis of phosphorus release from Au/InP contacts heat treated at temperature from the range 360-480°C showed that P evaporation accompanies any stage of contact reaction. The use of encapsulating layer during contact annealing suppresses the loss of phosphorus and changes the kinetics of thermally activated interfacial reaction.
- Źródło:
-
Acta Physica Polonica A; 1992, 82, 5; 849-852
0587-4246
1898-794X - Pojawia się w:
- Acta Physica Polonica A
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł