Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Wyszukujesz frazę "78.55.Ap" wg kryterium: Temat


Wyświetlanie 1-1 z 1
Tytuł:
Fabrication of $Si_{1-x}Ge_x$ Alloy on Silicon by Ge-Ion-Implantation and Short-Time-Annealing
Autorzy:
Gao, K.
Prucnal, S.
Mücklich, A.
Skorupa, W.
Zhou, S.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/1400450.pdf
Data publikacji:
2013-05
Wydawca:
Polska Akademia Nauk. Instytut Fizyki PAN
Tematy:
61.72.uf
78.55.Ap
68.37.Lp
Opis:
In our contribution we present the fabrication of $Si_{1-x}Ge_x$ alloy by ion-implantation and millisecond flash lamp annealing. The 100 keV Ge ions at the fluence of $10 \times 10^{16}, 5 \times 10^{16}$, and $3 \times 10^{16} cm^{-2}$ were implanted into monocrystalline (100)-oriented Si wafers covered by 50 nm thermal oxide. In the consequence, the 50 nm amorphous Ge rich Si layers were obtained. The recrystallization of the implanted layers and the $Si_{1-x}Ge_x$ alloying were accomplished by flash lamp annealing with the pulse duration of 20 ms. Flash lamp treatment at high energy densities leads to local melting of the Ge-rich silicon layer. Then the recrystallization takes place due to the millisecond range liquid phase epitaxy. Formation of the high quality monocrystalline $Si_{1-x}Ge_x$ layer was confirmed by the μ-Raman spectroscopy, the Rutherford backscattering channeling and cross-sectional transmission electron microscopy investigation. The μ-Raman spectra reveal three phonon modes located at around 293, 404, and $432 cm^{-1}$ corresponding to the Ge-Ge, Si-Ge and Si-Si in the $Si_{1-x}Ge_x$ alloy vibrational modes, respectively. Due to much higher carrier mobility in the $Si_{1-x}Ge_x$ layers than in silicon such system can be used for the fabrication of advanced microelectronic devices.
Źródło:
Acta Physica Polonica A; 2013, 123, 5; 858-861
0587-4246
1898-794X
Pojawia się w:
Acta Physica Polonica A
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
    Wyświetlanie 1-1 z 1

    Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies