- Tytuł:
- TSSOI as an efficient tool for diagnostics of SOI technology in Institute of Electron Technology
- Autorzy:
-
Barański, M.
Domański, K.
Grabiec, P.
Grodner, M.
Jaroszewicz, B.
Kociubiński, A.
Kucewicz, W.
Kucharski, K.
Marczewski, J.
Niemiec, H.
Sapor, M.
Tomaszewski, D. - Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/308825.pdf
- Data publikacji:
- 2005
- Wydawca:
- Instytut Łączności - Państwowy Instytut Badawczy
- Tematy:
-
SOI CMOS technology
pixel detector
test structure - Opis:
- This paper reports a test structure for characterization of a new technology combining a standard CMOS process with pixel detector manufacturing technique. These processes are combined on a single thick-_lm SOI wafer. Preliminary results of the measurements performed on both MOS SOI transistors and dedicated SOI test structures are described in detail.
- Źródło:
-
Journal of Telecommunications and Information Technology; 2005, 1; 85-93
1509-4553
1899-8852 - Pojawia się w:
- Journal of Telecommunications and Information Technology
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł