- Tytuł:
-
Nowy system generacji plazmy na powierzchniach cylindrycznych
New system for plasma generation on cylindrical surface - Autorzy:
-
Betiuk, M.
Łataś, Z. - Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/234547.pdf
- Data publikacji:
- 2015
- Wydawca:
- Wojskowy Instytut Techniczny Uzbrojenia
- Tematy:
-
magnetron
plazma
rura
lufa
plasma
tube
barrel - Opis:
-
Celem publikacji, opartej na zgłoszeniu patentowym IMP, jest przedstawienie badań nad magnetronem cylindrycznym do modyfikacji powłokami PVD wewnętrznych powierzchni rur i cylindrów. Opisano typy magnetronów cylindrycznych i pierwsze badania w kraju. Wykazano wdrożenia w obszarze wojskowym USA eliminujące technologie chromu galwanicznego. Na przykładzie powłok Cr i Cr/Ta otrzymywanych technologią PVD wskazano kierunek nowych kompozycji materiałowych. Wyniki badań własnych [16,18] wskazują zasadę działania i kontroli zbudowanego w IMP laboratoryjnego prototypu magnetronu. Obejmują one optymalizacje konstrukcji magnetronu z uwzględnieniem wielkości i geometrii stosowanego pola magnetycznego, parametry prądowe magnetronowego wyładowania jarzeniowego, skład atmosfery reaktywnej metaliczno–gazowej, w korelacji z rejestrowanym i analizowanym emisyjnym widmem plazmy. Wykazano istnienie ograniczeń geometrycznych średnicy magnetronu. Optymalizacja geometrii i wielkości pola magnetycznego magnetronu pozwoliła uzyskać dodatkowe obszary plazmy na powierzchni rozpylanej katody w mechanizmie dodatniego sprzężenia magnetycznego. Efektywność wykorzystania materiału katody wzrasta do 95 % w wyniku zastosowania oscylacyjnego ruchu pola magnetycznego. Zaproponowany sposób próżniowego napylania powłok metodą magnetronową znajduje zastosowanie w dużych przestrzeniach zamkniętych i otwartych np. rur do wymienników ciepła, powierzchni wewnętrznych cylindrów silników spalinowych, luf strzeleckich.
The aim of the paper, that is based on the patent application of the Institute of Fine Mechanics (IFM), is the presentation of research work on cylindrical magnetron for modification of internal surfaces of pipes and cylinders by PVD coatings. The paper includes description of types of cylindrical magnetrons and the first research work results in the country. Some military implementations in the US which eliminate the chromium galvanic plating technologies are shown. Developing trend of new material compositions obtained by PVD technology is shown on the example of Cr and Cr/Ta coatings. The results of own work [16,18] point out the principle of operation and control for the laboratory magnetron prototype built in the IFM. They include the optimisation of magnetron design regarding the intensity and geometry of used magnetic field, electric current characteristics of magnetron fluorescence discharge, composition of reactive metallic-gaseous atmosphere, in correlation with the recorded and analysed spectrum emitted by plasma. The existence of geometrical restrictions of magnetron diameter is presented. The optimisation of the geometry and the magnetron magnetic field has led to formation of additional zones of plasma on the surface of sputtered cathode through the positive magnetic coupling mechanism. The effectiveness of using cathode material increases to 95 % in the result of application of magnetic field oscillating movement. The proposed method of vacuum magnetron sputtering coating is suitable for large closed and open areas e.g. for pipes of heat exchangers, internal surfaces of combustion motor cylinders and barrels of small arms. - Źródło:
-
Problemy Techniki Uzbrojenia; 2015, 44, 136; 41-58
1230-3801 - Pojawia się w:
- Problemy Techniki Uzbrojenia
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł