- Tytuł:
-
Confocal techniques for surface profile measurements - methodology and instrumentation
Metoda i urządzenie do pomiaru kształtu powierzchni z wykorzystaniem technik konfokalnych - Autorzy:
-
Galas, J.
Litwin, D.
Kozłowski, T.
Sitarek, S.
Błocki, N. - Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/256729.pdf
- Data publikacji:
- 2006
- Wydawca:
- Sieć Badawcza Łukasiewicz - Instytut Technologii Eksploatacji - Państwowy Instytut Badawczy
- Tematy:
-
profilowanie powierzchni
sensor konfokalny
surface profiling
confocal sensor - Opis:
-
A surface profile measurement system for scanning the area of 100 mm x 100 mm with the lateral accuracy of 0.1 žm and height accuracy of 50 nm is presented. A confocal element has been used as a measurement head. This paper describes the methodology and the instrumentation including the calibration procedure and a discussion of accuracy.
Opracowany i wykonany został system do pomiaru kształtu powierzchni umożliwiający skaning powierzchni w płaszczyźnie XY w zakresie 100x100 mm z dokładnością 0.1 žm oraz pomiar współrzędnej Z w zakresie 0-100 mm z dokładnością 50 nm. Jako element pomiarowy współrzędnej Z zastosowano sensor konfokalny. W artykule opisano zasadę pomiaru, opisano system pomiarowy, metody kalibracji oraz uzyskane dokładności. - Źródło:
-
Problemy Eksploatacji; 2006, 4; 105-113
1232-9312 - Pojawia się w:
- Problemy Eksploatacji
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł