Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

Wyszukujesz frazę "probe" wg kryterium: Temat


Wyświetlanie 1-12 z 12
Tytuł:
Problemy związane z korekcją promienia końcówki pomiarowej podczas skaningowych pomiarów współrzędnościowych
Difficulties with the corrected measured point determination in coordinate metrology
Autorzy:
Woźniak, A.
Mayer, M.
Cote, M.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/153572.pdf
Data publikacji:
2007
Wydawca:
Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
Tematy:
Współrzędnościowa Maszyna Pomiarowa
WMP
sonda głowica skaningowa
korekcja promienia końcówki
Coordinate Measuring Machine
CMM
scanning probe
probe radius compensation
Opis:
W artykule przedstawiono analizy teoretyczne i badania doświadczalne potwierdzające, że korekcja promienia końcówki pomiarowej może być istotnym źródłem błędów podczas saningowych pomiarów przeprowadzanych na maszynach współrzędnościowych. Przedstawiono wyniki pomiarów przykładowego elementu na maszynie Mitutoyo LEGEX 910 CMM wyposażonej w sondę skaningową MPP-300, ze wskazaniem mechanizmów złej korekcji promienia końcówki pomiarowej.
Paper discusses an understanding for the compensation of the probe ball radius in a scanning process carried out by coordinate measuring machines (CMM). According to some initial trials of scanning measurement using the stylus tip radius correction built-in the CMM software, it was found, as will be shown in the paper, that the indigenous CMM software do not compensate the stylus tip radius well. As a result, the information about the real shape of the measured reatures can be distored. The difficulties with the corrected measured point determination will be demonstrate no the basis of tests were carried out on a Mitutoyo LEGEX 910 CMM equipped with a MPP-300 scanning probe.
Źródło:
Pomiary Automatyka Kontrola; 2007, R. 53, nr 9 bis, 9 bis; 485-488
0032-4140
Pojawia się w:
Pomiary Automatyka Kontrola
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Częstotliwościowa metoda pomiaru zespolonej przenikalności dielektrycznej materiałów porowatych przy zastosowaniu sond o różnej długości
Frequency method for the measurement of the porous materials complex dielectric permittivity using probes of different length
Autorzy:
Wilczek, A.
Skierucha, W.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/156814.pdf
Data publikacji:
2007
Wydawca:
Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
Tematy:
właściwości gleby
zespolona przenikalność dielektryczna
sonda Open-Ended
sonda dwuprętowa
soil properties
complex dielectric permittivity
Open-Ended probe
two-rod probe
Opis:
Celem pracy jest porównanie dwóch metod pomiaru zespolonej przenikalności dielektrycznej gleby. W pierwszej metodzie wykorzystywanej do pomiarów referencyjnych użyta została sonda Open-Ended. W drugiej metodzie do pomiarów zostały wykorzystane sondy dwuprętowe o różnej długości, przy pomocy których dokonywano pomiaru przenikalności dielektrycznej w tak dobranych częstotliwościach, aby można je było traktować jako elementy o parametrach skupionych. W pracy przedstawiono kalibrację sond dwuprętowych metodą używaną do kalibracji sond Open-Ended. Polega ona na pomiarach sond w stanach zwarcia, rozwarcia i po umieszczeniu ich w ośrodku o znanych właściwościach dielektrycznych. Po kalibracji dokonano pomiarów parametrów odbiciowych na próbkach trzech gleb w wybranych częstotliwościach. Wszystkie pomiary wykonywane były wektorowym analizatorem sieci pracującym w zakresie częstotliwości 20 kHz + 8 GHz. Obiektami badanymi były trzy gleby o różnym rozkładzie granulometrycznym oraz wilgotności. Ze względu na specyfikę pomiaru w pracy przedstawiono analizę dla jednej tylko gleby. Porównanie wyników pozwala sądzić, że stosowane metody wykazują się wysoką korelacją wyników w przypadku pomiarów obu składowych zespolonej przenikalności dielektrycznej.
The main aim of the study is comparision of two measurement methods of the complex dielectric permittivity of soils. The first one used an Open-Ended probe and it was a reference method. The other one used two-rod probes of different length. These probes measured reflection parameters soils in selected frequencies that enabled to treat the probes as elements of lumped parameters. The study presents calibration of the two-rod probes using the method applied in Open-Ended probes. Il consists of measurements in shorted and open states as well as the measurement in a medium of known dielectric properties. All measurements were done using a vector network analyzer of the frequency range 20 kHz 8 GHz. Three soils of various texture and moisture were the analysed objects. Due to specificity of the measurement the paper presents the analysis for only one soil. The comparison of the measured data shows that the real and imaginary parts of the complex dielectric permittivity measured by both methods are highly correlated.
Źródło:
Pomiary Automatyka Kontrola; 2007, R. 53, nr 9 bis, 9 bis; 680-682
0032-4140
Pojawia się w:
Pomiary Automatyka Kontrola
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Model kinetyczny przetwornika pasywnych głowic skaningowych CMM
Kinetic model of CMM scanning passive probe transducer
Autorzy:
Krajewski, G.
Woźniak, A.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/155447.pdf
Data publikacji:
2010
Wydawca:
Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
Tematy:
głowica skanująca
współrzędnościowa maszyna pomiarowa
CMM
scanning probe
coordinate measuring machine
Opis:
W artykule przedstawiono analizę teoretyczną budowy przetwornika głowic skaningowych pasywnych stosowanych do pomiarów w technice współrzędnościowej. W efekcie podjętych prac autorzy otrzymali wstępny model dynamiczny pracy głowic, który może posłużć do kompensacji ich błędów powstałych na skutek zwiększenia prędkości pomiarowej.
Scanning probes, also known as measuring probes, are one of the most often used equipment of coordinate measuring machines (CMM) owing to ability of collecting large number of measuring points as well as taking fast measurements. High speed of measurements and high accuracy of the measuring system are two critical parameters deciding about the machine effectiveness. Dynamics is the most significant factor limiting the measurement accuracy. In most investigations of scanning CMM there is not separated the probing system performance from other sources of the machine errors, so the true error influenced by the probing system is not profoundly determined. This paper presents the scanning probe model regardless of the machine links. The worked out model allows for better understanding of the probing process with higher speed and optimising the measuring process. The future works will aim at proposing optimisation algorithms and applying them to the probing system as well as obtaining improvement in the accuracy.
Źródło:
Pomiary Automatyka Kontrola; 2010, R. 56, nr 1, 1; 50-51
0032-4140
Pojawia się w:
Pomiary Automatyka Kontrola
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Nowa metoda generowania punktów offsetowych po skanowaniu CMM
The new method of generation of offset points after CMM scanning
Autorzy:
Filipowski, R.
Dąbrowski, L.
Zawora, J.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/157835.pdf
Data publikacji:
2005
Wydawca:
Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
Tematy:
głowica pomiarowa
interpolacja
parametryzacja krzywej
probe head
interpolation
form of curve
Opis:
Skanowanie złożonych powierzchni na współrzędnościowej maszynie pomiarowej (CMM) jest szybką metodą ich pomiaru. Współrzędne punktów środka kulki głowicy pomiarowej w układzie współrzędnych kartezjańskich są zapisywane do zbioru danych w komputerze (PC). Każdy punkt pomiarowy jest określony przez wektor pozycyjny w prostokątnym układzie oraz parametr zmieniający się od zera do jedności. Przez punkty pomiarowe prowadzi się krzywe parametryczne Fergusona (splajn) a następnie przy ich pomocy generuje się punkty offsetowe. Zastosowane interpolacyjne funkcje Fergusona pozwalają uzyskać dobrą dokładność obliczenia położenia punktów offsetowych powierzchni mierzonych.
This paper presents a new method generating offset points after scanning process of cylindrical surface on the CMM, were in to the file of the connected PC using part coordinate system. The cartesian coordinates of points are transformed in parameter coordinates. By the processing of scanning data, the distance between points are made nearly equal. That way some points positioned too closely were eliminated form the calculation process. This closeness was caused by variation in CMM scanning speed. In the last step, the processed points with parameter coordinates were connected to the Ferguson function, thus enabling determining the position of the offset points. The parameter coordinates of points and the third degree curve (Ferguson curve) lead to very good accuracy of reverse engineering process for cylindrical surfaces.
Źródło:
Pomiary Automatyka Kontrola; 2005, R. 51, nr 11, 11; 5-8
0032-4140
Pojawia się w:
Pomiary Automatyka Kontrola
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Modelowanie błędów głowicy pomiarowej z zastosowaniem metody Monte Carlo
Modeling of probing system errors by use of Monte Carlo method
Autorzy:
Sładek, J.
Juras, B.,
Krawczyk, M.
Gąska, A.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/152502.pdf
Data publikacji:
2010
Wydawca:
Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
Tematy:
głowica pomiarowa
niepewność
metoda Monte Carlo
probe head
uncertainty
Monte Carlo
Opis:
W obecnych czasach, gdy nowoczesne techniki wytwarzania umożliwiają produkcję części z coraz to większą dokładnością, a tolerancje ich wykonania stają się coraz węższe, pojawia się potrzeba bardzo dokładnego wyznaczania niepewności pomiarów. Ważne jest również, aby proces estymacji niepewności stawał się jak najszybszy. Z tego powodu najlepiej rozwinięte laboratoria metrologiczne starają się stworzyć wirtualne modele WMP, które są w stanie wyznaczyć niepewność pomiarów w czasie quasi-rzeczywistym. Ten artykuł przedstawia sposób modelowania błędów głowicy pomiarowej z wykorzystaniem metody Monte Carlo. Błędy głowicy pomiarowej stanowią znaczną część całkowitych błędów maszyny pomiarowej, a zaprezentowany model może zostać wykorzystany jako jeden z modułów wirtualnej WMP.
Nowadays, when the manufacturing technologies are getting more and more precise, and the tolerances are getting narrower, there is a need of expressing the uncertainty of measurement at the really high level. It is also important to make the uncertainty estimation as quick as possible. This is why the most developed metrological laboratories are trying to create the virtual CMM models that can handle uncertainty evaluation in quasi-real time. This paper shows how to model, with use of the Monte Carlo method, the probing system errors which are one of the most significant errors of CMMs. The presented model can then be used as a module of virtual CMM. Paragraph 2 presents the theoretical basis of probing system operation. It also points out the factors causing probing system errors. The mentioned model of probe head errors is presented in Paragraph 3. Paragraph 4 gives the results of the measurements and simulations that have been performed to show functionality and correctness of the model. Conclusions and areas of development are presented in Paragraph 5.
Źródło:
Pomiary Automatyka Kontrola; 2010, R. 56, nr 8, 8; 946-949
0032-4140
Pojawia się w:
Pomiary Automatyka Kontrola
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Odkształcenia cieplne a niedokładność pomiaru sondą przedmiotową
Inaccuracy of measurements by inspection probe in relation to thermal deformations
Autorzy:
Jacniacka, E.
Semotiuk, L.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/152586.pdf
Data publikacji:
2011
Wydawca:
Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
Tematy:
sonda przedmiotowa
niepewność pomiaru
odkształcenia cieplne
inspection probe
uncertainty
measurement
thermal deformation
Opis:
Sondy przedmiotowe coraz częściej są standardowym wyposażeniem obrabiarek CNC. Wykorzystywane są do pomiaru wymiarów pomiędzy zabiegami technologicznymi oraz do kontroli po zakończeniu obróbki. W procesach obróbki skrawaniem generowane są znaczne ilości ciepła., które kumulowane w przedmiocie obrabianym, powoduje wzrost jego temperatury i co za tym idzie zmianę wymiarów. W pracy zaprezentowano wyniki pomiaru sondą długości OMP 60 przedmiotów frezowanych wykonanych ze stali C45 i stopu aluminium 2017 A. Przeprowadzony eksperyment pokazał, że odkształcenia wywołane ciepłem generowanym w strefie skrawania są znaczące i nie można ich pominąć podczas pomiaru sondami przedmiotowymi.
Inspection probes are used to measure dimensions between technological operations and to control after completing the machining. Machining generates significant amount of heat which is accumu-lated in a machined object causing change of the object dimensions. In this paper there is discussed the influence of thermal deformation on the accuracy of measurements taken by an inspection probe. In Section 2 there are presented the most important sources of measurement errors and methods for assessment of the measurement accuracy by means of the inspection probe. The study included measurements taken by the inspection probe after machining at given intervals. Two very popular materials, steel C45 and aluminium alloy 2017A, were chosen. In-cut milling with and without cooling with cutting fluid was used as a method of machining. In Fig. 1 the object with marked measurement points is presented. Fig. 2 shows the object fixed in workspace of the machining center. The results of measurements made with use of the inspection probe were compared with those obtained from CMM measurements in 20°C. Elongation ΔL was calculated as a difference between the measurement by the inspection probe OMP 60 and CMM measurement. In Tables 4-7 the average elongation as a function of time from the end of machining to the beginning of measurements is given. Figs. 3 and 4 show its graphic representation.
Źródło:
Pomiary Automatyka Kontrola; 2011, R. 57, nr 9, 9; 985-988
0032-4140
Pojawia się w:
Pomiary Automatyka Kontrola
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Badania porównawcze pomiarów wykonywanych za pomocą współrzędnościowego ramienia pomiarowego wyposażonego w głowicę sztywną i impulsową
Comparative studies of measurements made by a coordinate measuring arm equipped with hard and trigger probes
Autorzy:
Rak, M.
Ratajczyk, E.
Kowaluk, T.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/153541.pdf
Data publikacji:
2013
Wydawca:
Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
Tematy:
współrzędnościowe ramię pomiarowe
głowica (sonda) pomiarowa
coordinate measuring arm (portable CMM)
measuring probe
Opis:
Przedstawiona jest ocena dokładności pomiarów przeprowadzonych głowicą sztywną i przełączającą za pomocą współrzędnościowego ramienia pomiarowego [1]. Ramiona współrzędnościowe są mobilnymi ręcznymi przyrządami pomiarowymi. W celu lokalizacji punktów pomiarowych wyposażone są najczęściej w głowice sztywne. Dzięki użyciu w jednym ramieniu zarówno głowicy sztywnej jak i przełączającej możliwe było porównanie ich ze sobą. Badania eksperymentalne wykonano na podstawie wybranych wymiarów elementu w postaci kostki szkoleniowej. Otrzymane wyniki badań pozwalają ocenić stopień dokładności przy stosowaniu poszczególnych rodzajów głowic.
The purpose of the paper is to assess the accuracy of measurements made with hard and trigger probes on a coordinate measuring arm. In the case of hard heads the measuring force is variable and depends on an operator who decides on appearance of a contact of the stylus tip with the measured surface, while in the case of trigger probes the contact of the tip with the measured surface is independent of shaft swings, breaking the electrical contact inside the head due to deflection of the stylus and breaking the electrical contact inside the head. The study was conducted with use of the arm Metris – Nikon MCA II shown in Fig. 1. Arms are manual measuring devices equipped, in most cases, with hard probes. Through the use of hard and trigger probes in one arm, it is possible to compare two heads. The TP20 kinematic touch-trigger probe with an SF module (standard force) was used as a trigger head. The paper presents a brief description of coordinate measurements as well as construction and working principle of coordinate measuring arms. In Fig. 3 there is shown a CAD model of the training cube used as a test part. The tests were made on the basis of measurements of four cylindrical holes with different diameters. The obtained results for two probes were compared with each other. It was analyzed how the range of results for different diameters for hard and trigger probes changed. The results show the influence of other factors (besides the measuring force). To show the influence of the measuring force, tests on a cube made of different materials were also performed.
Źródło:
Pomiary Automatyka Kontrola; 2013, R. 59, nr 5, 5; 456-458
0032-4140
Pojawia się w:
Pomiary Automatyka Kontrola
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Redukowanie czasu obliczeń transformaty Hougha z wykorzystaniem preselekcji implementowane na GPGPU
Reducing the computation time of the Hough Transform implemented on GPGPU using preselection of circles
Autorzy:
Mazurek, P.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/155295.pdf
Data publikacji:
2013
Wydawca:
Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
Tematy:
transformata Hougha
próbnik światła
pomiary oświetlenia
GPGPU
Hough transform
light probe
light measurements
Opis:
W artykule przedstawiono algorytm rzadkiego próbkowania okręgu dla transformaty Hougha, w celu preselekcji okręgów do dalszego przetwarzania. Rozwiązanie pozwala na skrócenie czasu obliczeń, rzędu dwóch razy dla implementacji z wykorzystaniem programowanej karty graficznej (GPGPU). Może ono być zastosowywane do wykrycia jednokolorowej kryzy wokół lustra sferycznego lub półsferycznego służącego do pomiaru oświetlenia. Dzięki temu można analizować obraz wideo zawierający pomiary z różnych obszarów.
The Hough Transform (HT) is a very powerful algorithm for the detection of shapes. It is used for the detection of the flange of a light probe (Fig. 1). GPGPU processing is necessary for HT computation. The proposed algorithm (Fig. 4) is based on the preselection of circles for further computation (Fig. 3). Selection of the circles based on a limited set of pixel samples allows reduction of the processing time up to two times. The reduction is dependent on the image content, but the test shows that the influence of the number of the tested radiuses is less. About one second of the processing time is necessary, so larger images need tens of seconds for computation (Fig. 5). This algorithm uses exhaustive search over all positions and radiuses. One of the interesting applications of the HT is the estimation of the position and diameter of a circle related to the flange of a light probe [2, 3]. Light probes are used for computer graphics applications and they allow application of the real world measurements of light using the Image Based Lighting (IBL) technique. The GPGPU implementation use CUDA based code (CUDA v4.0) [10,11] and 16x8 organization of threads is assumed. The technique proposed for the time and spatial synchronization of the multiple threads for more synchronous read operation from a global memory is applied [7]. The global memory is large and slow, so a GPGPU-global memory interface is the main bottleneck of the system. Synchronization of accesses allows coalescence read operations.
Źródło:
Pomiary Automatyka Kontrola; 2013, R. 59, nr 11, 11; 1171-1173
0032-4140
Pojawia się w:
Pomiary Automatyka Kontrola
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Błędy w autokalibracyjnych pomiarach prądu uziemienia przy użyciu cęgów prądowych
The errors of the autocalibration measurement of the grounding current with clamp-on probe
Autorzy:
Wołoszyk, M.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/151856.pdf
Data publikacji:
2002
Wydawca:
Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
Tematy:
autokalibracyjne pomiary prądu uziemienia
cęgi prądowe
autocalibration measurements of the grounding
clamp-on probe
Opis:
We współczesnych miernikach rezystancji uziemienia normą staje się możliwość kontroli wybranego uziemienia pracujacego w systemie uziemień bez odłączania go od tego systemu. Prad płynący przez uziemienie mierzy się w takim przypadku przy użyciu przetwornika cę gowego. Wymagane znaczne rozmiary "okna" cęgów wymuszają stosowanie przetworników o zakresach pomiarowych wielokrotnie większych od wartości mierzonych prądów, co może prowadzić do powstawania nadmiernych błędów pomiarowych. Znaczną poprawę dokładności można uzyskać poprzez zastosowanie pomiarów etapowych, a nastepnie wartość prądu mierzonego wyznacza się na drodze obliczeniowej.
Measurement of earthing impedance (resistance) of complex earthing from the system without disconnecting the tested earthing from the system is getting more and more popular. In that case current transformer. Required large dimensions of the clamp "window" make it necessary to use a transformer of high current range, very exceeding the actual current value. Such situation may result in unaceptable high measurement errors. The accuracy can be improved with autocalibrating technique.
Źródło:
Pomiary Automatyka Kontrola; 2002, R. 48, nr 9, 9; 17-20
0032-4140
Pojawia się w:
Pomiary Automatyka Kontrola
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Korekcja charakterystyki metrologicznej głowicy przełączającej we współrzędnościowej technice pomiarowej
The Touch-Trigger Probe Metrological Characteristics Correction in the Coordinate Measuring Technique
Autorzy:
Swornowski, P.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/157583.pdf
Data publikacji:
2007
Wydawca:
Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
Tematy:
współrzędnościowa maszyna pomiarowa
WMP
głowica stykowa
korekcja charakterystyki metrologicznej
coordinate measuring machine
CMM
trigger probe
metrological characteristic correction
Opis:
W artykule przedstawiono wyniki polepszenia charakterystyki metrologicznej trójpodporowej głowicy przełączającej (impulsowej). Wyeliminowano dwie największe wady tych głowic, a mianowicie iskrzenie na stykach oraz "trójgraniastą" charakterystykę. Zbudowano od podstaw głowice (PS-3) w której zmodernizowano część mechaniczną polegającą na dodaniu do klasycznego zespołu przełączającego trzech dodatkowych mikroprzełączników oraz umieszczeniu ich pod istniejącymi stykami głównymi głowicy. Dodano również blok elektroniczny, którego zadaniem jest odpowiednie formowanie impulsów wychodzących z głowicy oraz stworzono oprogramowanie, w którym dokonuje się korekcji "surowego" wyniku.
In this article, the result of the metrological characteristic improvement has been presented. The investigation dealt with the pulse probe head with three pillars for Coordinate Measuring Machines, where two problems were to solve: scintillation on the electrical contacts and "triangular" characteristics. The new probe head (PS-3) with modernized mechanics was constructed. To the switching unit were added three more microswitches placed under the main contacts of the head. The additional electronic block was introduced, too, which had to form output pulses and perform calculations. The additional software was to correct the "rough" data.
Źródło:
Pomiary Automatyka Kontrola; 2007, R. 53, nr 9 bis, 9 bis; 482-484
0032-4140
Pojawia się w:
Pomiary Automatyka Kontrola
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Interferometer-based scanning probe microscope for high-speed, long-range, traceable measurements
Mikroskop z sondą skanującą na bazie interferometru do szybkich spójnych pomiarów małych przemieszczeń o dużym zakresie
Autorzy:
Vorbringer-Dorozhovets, N.
Manske, E.
Jäger, G.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/153193.pdf
Data publikacji:
2014
Wydawca:
Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
Tematy:
nanopositioning and nanomeasuring machine
metrological scanning probe microscope
SPM
AFM
maszyna nanopozycjonująca i nanopomiarowa
metrologiczny mikroskop z sondą skanującą
Opis:
The specialty of the metrological SPM-head is the combined deflection detection system for simultaneous acquisition of bending, torsion and position of the cantilever with one measuring beam. The deflection system comprises a beam deflection and an interferometer in such a way that measurements of the cantilever displacement are traceable to the SI unit metre. Integrated into a NPM machine scans with a resolution of 0.1 nm over a range of 25 mm × 25 mm are possible.
W artykule przedstawiono wyniki dotyczące opracowanej i zrealizowanej w Ilmenau University of Technology (Niemcy) maszyny Nano-pozycjonującej (NPM), która zapewnia nanometrową rozdzielczość oraz niepewność 3D pozycjonowania oraz pomiaru w zakresie 25 mm × 25 mm × 5 mm. Jednym ze składowych elementów tej maszyny, od którego zależą jej własności metrologiczne, jest mikroskop z sondą skanującą (SPM) na bazie interferometru, którego koncepcję przedstawiono na (rys. 1). Wykonana według tej koncepcji głowica metrologicznego SPM została zintegrowana z NPM maszyny (rys. 2). Osobliwością głowicy SPM jest system dla jednoczesnej akwizycji ugięcia, skręcania i pozycji belki wspornikowej tylko z jednej wiązki światła (rys. 1). Zostały wykonane badania dokładności pozycjonowania i pomiaru przy różnych szybkościach skanowania obiektu badanego od 1 µm/s do 1 mm/s. Przykładowe wyniki skanowania przedstawiono na rys. 3, 4. W celu wyznaczania jakości tych wyników oraz kalibracji SPM został wykorzystany zestaw wzorców wysokości skokowych z Physikalisch-Technische Bundesanstalt – PTB (rys. 6), oraz wykonane w specjalny sposób wzorce testowych wskaźników odniesienia rozstawionych na stosunkowo dużych odległościach (rys. 7). Uzyskane z SPM wyniki pomiarów wzorców wysokości oraz niepewności tych wyników wykazały bardzo dobrą zbieżność z wartościami wielkości tych wzorców (tab. 1). Wyznaczona powtarzalność wyników jest na poziomie poniżej 0.2 nm. Bardzo dobre wyniki uzyskano przy pomiarach testowych wskaźników odniesienia, powtarzalność wyników pomiaru centrów współrzędnych wskaźników wynosi poniżej 5 nm (tab. 2).
Źródło:
Pomiary Automatyka Kontrola; 2014, R. 60, nr 2, 2; 69-72
0032-4140
Pojawia się w:
Pomiary Automatyka Kontrola
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
Tytuł:
Analiza obrazów powierzchni w mikroskopii bliskich oddziaływań
Surface Image Analysis in Scanning Probe Microscopy
Autorzy:
Jóźwiak, G.
Gotszalk, T.
Powiązania:
https://bibliotekanauki.pl/articles/155430.pdf
Data publikacji:
2010
Wydawca:
Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
Tematy:
mikroskopia bliskich oddziaływań
analiza topografii powierzchni
analiza motywów 3D
scanning probe microscopy
surface analysis
3D motif analysis
Opis:
W pracy przedstawiono wybrane metody analizy powierzchni (ISO 25178) wskazując na rodzaj informacji, jaką można za pomocą danej metody uzyskać. Opisywane algorytmy i procedury zostały zaimplementowane w opracowanym w Wydziałowym Zakładzie Metrologii Mikro- i Nanostruktur Politechniki Wrocławskiej programie TOPOGRAF. W pracy zaprezentowano przykładowe wyniki działania zaimplementowanych algorytmów i procedur.
Progress in the scanning probe microscopy makes it become a much more common tool. In the paper the principle of operation of the scanning probe microscope is presented. It is emphasized that the measurement result is an image of the investigated surface. Two groups of parameters connected with lateral properties of the tested surface image are introduced. The first group of parameters is connected with the image autocorrelation function and two dimensional Fourier transform. The texture aspect ratio and surface autocorrelation length (Fig. 1) are given as examples of the autocorrelation parameters. The second group of parameters is related to the so called 3D motif analysis. At the first stage of this analysis the image is segmented by means of the watershed segmentations algorithm. At the second stage the statistics connected with the shape and dimensions of the segments are calculated. The segmentation algorithm as well as the parameters describing shape and dimensions of segments (Fig 2) are presented in the paper. Due to the quantum nature of the micro- and nano-world, the uncertainty of products of the micro and nanotechnology will always be greater than that of products of the conventional technology. For this reason there is strong demand for flexible techniques capable of handling this increased uncertainty. The 3D motif analysis is very well suited to meet this challenge, since it enables the extension of the basic set of the parameters describing segments. Therefore the segment parameters might be adapted to the function of the investigated nanostructures. The images presented in the paper were obtained by means of the TOPOGRAF software that is developed at the Division of Micro- and Nanostructures Metrology.
Źródło:
Pomiary Automatyka Kontrola; 2010, R. 56, nr 1, 1; 46-47
0032-4140
Pojawia się w:
Pomiary Automatyka Kontrola
Dostawca treści:
Biblioteka Nauki
Artykuł
    Wyświetlanie 1-12 z 12

    Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies