- Tytuł:
-
Mikrokomputerowy system sterowania przemysłową linią próżniową do nanoszenia cienkich warstw metodą jonowego rozpylania magnetronowego
Microcomputer control system for an industrial, technological equipment for thin film deposition by means of the ion sputtering method - Autorzy:
-
Marszałek, K.
Dziadecki, A.
Żegleń, T. - Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/152416.pdf
- Data publikacji:
- 2002
- Wydawca:
- Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
- Tematy:
-
mikrokomputerowy system sterowania
przemysłowa linia próżniowa
metoda jonowego rozpylania magnetronowego
microcomputer control system
technological equipment - Opis:
- The paper presents a description of a microcomputer control system for an industrial, technological equipment for thin film deposition by means of the ion sputtering method. The construction of the vacuum part of the equipment as well as supply and controlling system is presented. Computer program with different working modes of the system and the methods of controlling such system parameters like the sputtering current, transport velocity of the substrates, pressure of the working gas and substrate temperature.
- Źródło:
-
Pomiary Automatyka Kontrola; 2002, R. 48, nr 3, 3; 5-8
0032-4140 - Pojawia się w:
- Pomiary Automatyka Kontrola
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł