Informacja

Drogi użytkowniku, aplikacja do prawidłowego działania wymaga obsługi JavaScript. Proszę włącz obsługę JavaScript w Twojej przeglądarce.

English (EN)·Polski (PL)·Yкраїнський (UK)
Przejdź do strony domowej biblioteki Centralna Biblioteka Wojskowa Link otwiera się w nowym oknie Logo biblioteki Prolib Integro - strona głównaCentralna Biblioteka Wojskowa

Wyszukujesz frazę "MEMS" wg kryterium: Temat

  Lista filtrów
Wyrównaj
    Wyświetlanie 1-12 z 12
    Tytuł:
    Wybrane zastosowania ukłądów MEMS w pomiarach wielkości mechanicznych
    Selected MEMS applications for mechanical values measurements
    Autorzy:
    Bojko, T.
    Powiązania:
    https://bibliotekanauki.pl/articles/151829.pdf
    Data publikacji:
    2003
    Wydawca:
    Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
    Tematy:
    układy MEMS
    pomiary wielkości mechanicznych
    MEMS aplications
    mechanical values measurements
    Opis:
    W artykule przedstawiono wybrane zastosowania dostępnych układów MEMS (Micro-Electro-Mechanical-Systems) do pomiarów wielkości mechanicznych. W artykule opisano podstawy, podstawowe technologie oraz aktualny stan wykorzystania układów MEMS. Jako przykład zastosowania układów MEMS opisano system do pomiarów przyśpieszeń wyposażony w interfejs sieci CAN.
    In this paper applications of available MEMS microchip for mechanical values measurement are presented. Brief introduction to MEMS technology, basic MEMS manufacturing procesess and application of MEMS structures in measurements are described. As an example of application of the MEMS an accelerometer equiped with CAN bus is presented.
    Źródło:
    Pomiary Automatyka Kontrola; 2003, R. 49, nr 11, 11; 33-35
    0032-4140
    Pojawia się w:
    Pomiary Automatyka Kontrola
    Dostawca treści:
    Biblioteka Nauki
    Artykuł
    Tytuł:
    Doświadczalne wyznaczanie wybranych parametrów akcelerometrów MEMS - metodyka badań doświadczalnych
    Experimental determination of selected parameters of MEMS accelerometers - methodology of experimental studies
    Autorzy:
    Łuczak, S.
    Powiązania:
    https://bibliotekanauki.pl/articles/153697.pdf
    Data publikacji:
    2011
    Wydawca:
    Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
    Tematy:
    akcelerometr MEMS
    badania doświadczalne
    pomiary
    wzorcowanie
    MEMS accelerometer
    experimental studies
    measurements
    calibration
    Opis:
    W artykule przedstawiono problem doświadczalnego wyznaczania wartości najważniejszych parametrów metrologicznych akcelerometrów MEMS (Microelektromechanical Systems). Zaprezentowano odpowiednie stanowisko badawcze. Omówiono różne metody wzorcowania akcelerometrów. Zaproponowano dwie oryginalne procedury wzorcowania i podano odpowiadające im wartości niektórych parametrów metrologicznych uzyskanych dla przykładowego akcelerometru MEMS.
    In the cases when metrological parameters of a sensor are of high importance, it is necessary to subject it to appropriate experimental studies. Generally, such a situation may take place when: significant metrological parameters of a sensor are not provided or may be overestimated in the related catalogs; a sensor must be calibrated by the user; an improvement of the sensor performance is striven for; significance of interactions between a sensor parameter and some disturbance must be verified; results of aging of a sensor, its durability or stability must be determined. Such cases are reported in [1-4]. While performing experiments described in the paper, two crucial issues were: an appropriate test rig presented in Section 2, and a methodology of performing the experiments discussed in the paper and in [8]. In Section 3 various ways of calibrating MEMS accelerometers are presented, with reference to related works of others, reported in [11-14], and their advantages and disadvantages are briefly discussed. Two original procedures of calibration are proposed. In the summary, the results obtained while calibrating the tested accelerometer according to three different methods are compared, and then a scope of application of each method is indicated. Further results of the considered experiments are reported by the author in the paper constituting a second part of the presented considerations, 'Experimental determination of selected parameters of MEMS accelerometers - results of the experimental studies'.
    Źródło:
    Pomiary Automatyka Kontrola; 2011, R. 57, nr 11, 11; 1321-1324
    0032-4140
    Pojawia się w:
    Pomiary Automatyka Kontrola
    Dostawca treści:
    Biblioteka Nauki
    Artykuł
    Tytuł:
    Badania doświadczalne czujnika MEMS przy wykorzystaniu wibrometru laserowego
    Experimental testing of MEMS pressure sensor using laser vibrometer
    Autorzy:
    Kasprowiak, M.
    Jasiewicz, M.
    Powałka, B.
    Parus, A.
    Powiązania:
    https://bibliotekanauki.pl/articles/155986.pdf
    Data publikacji:
    2014
    Wydawca:
    Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
    Tematy:
    badania doświadczalne
    czujnik ciśnienia MEMS
    wibrometr laserowy
    experimental tests
    MEMS pressure sensor
    laser vibrometer
    Opis:
    W artykule przedstawiono problematykę doświadczalnych badań dynamicznych mikroukładów elektromechanicznych (MEMS) na przykładzie czujnika ciśnienia. Zaprezentowano stanowisko badawcze wykorzystujące wibrometr laserowy. W związku z trudnościami wymuszania dynamicznego MEMS zaproponowano metodę wzbudzania układu za pomocą przetwornika piezoelektrycznego a następnie porównano i omówiono wyniki badań uzyskanych przy zastosowaniu różnych sygnałów wymuszających.
    The growth of technological capabilities in the field of manufacturing and machining of microelectromechanical systems (MEMS) results in the trend toward devices miniaturization. In many applications it is necessary to carry out experiments of MEMS (e.g. dynamic parameters identification), which in conjunction with miniature dimensions, turns out difficult [1]. Problematic is both a dynamic excitation of such structures vibrations recording. The paper presents the process and results of dynamic testing of MEMS structure using laser vibrometer. Section 2 presents test object, the pressure sensor, which was chosen due to the presence of a flexible diaphragm having a distinct form of vibration. In Section 3 the test stand, consisting of laser vibrometer, microscope, a PC with dedicated Polytec software and Signal Generator is described [3]. Due to impossibility of application of standard dynamic excitation (e.g. impact test or shaker) the piezoelectric transducer was proposed as an alternative [6]. The software enables generating both deterministic signals (e.g. Sine wave, Sweep, Square) as well as non-deterministic (Pseudo Random, Random Burst) by a signal generator coupled to the power supply. Section 4 includes the course of research and in Section 5 the comparison of test results for all applied excitation signals is presented. The summary and conclusions can be found in Section 6.
    Źródło:
    Pomiary Automatyka Kontrola; 2014, R. 60, nr 12, 12; 1084-1086
    0032-4140
    Pojawia się w:
    Pomiary Automatyka Kontrola
    Dostawca treści:
    Biblioteka Nauki
    Artykuł
    Tytuł:
    Niskokosztowe sensory MEMS w systemach nawigacji inercyjnej
    Low-cost MEMS sensors for inertial navigation systems
    Autorzy:
    Sawicki, M.
    Sondej, T.
    Powiązania:
    https://bibliotekanauki.pl/articles/158117.pdf
    Data publikacji:
    2012
    Wydawca:
    Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
    Tematy:
    systemy pozycjonowania
    nawigacja inercyjna
    sensory MEMS
    filtracja Kalmana
    position systems
    inertial navigation
    MEMS sensors
    Kalman filtering
    Opis:
    W artykule zaprezentowano system pozycjonowania zbudowany przy użyciu sensorów nawigacji inercyjnej (INS) oraz odbiornika GPS. Jako czujniki inercyjne zastosowano niskokosztowe, powszechnie dostępne akcelerometry i żyroskopy wykonane w technologii MEMS. Omówiono sposób kalibracji akcelerometru oraz metody przetwarzania sygnałów z sensorów MEMS. Przedstawiono również wyniki przeprowadzonych badań eksperymentalnych.
    The paper presents a positioning system with GPS and inertial sensors. The system is based on commercial solutions described in [1, 3]. The designed system consists of a GPS receiver, a MEMS accelerometer, a MEMS gyroscope, an electronic compass and a pressure sensor. Data processing was carried out by use of a microcontroller with ARM Cortex-M3 core. Designated positions are recorded on a microSD memory card and transmitted by the UART interface according to the NMEA standard. The experimental tests consisting in driving on city roads were performed. The measurement results were recorded directly from the GPS receiver and the system output. Characteristic places such as a tunnel or railway traction were analysed. The results obtained show that MEMS sensors improve the accuracy of determining the position during short-term GPS signal outages. They allow setting the positions more accurately in difficult terrain such as dense urban areas and underground tunnels. In addition, application of low-cost sensors gives a possibility to use the system in popular car navigation systems or mobile phones.
    Źródło:
    Pomiary Automatyka Kontrola; 2012, R. 58, nr 8, 8; 701-703
    0032-4140
    Pojawia się w:
    Pomiary Automatyka Kontrola
    Dostawca treści:
    Biblioteka Nauki
    Artykuł
    Tytuł:
    Zastosowanie układów MEMS w pomiarach położenia oraz parametrów ruchu liniowego
    Application of MEMS systems in measurements of position and motion parameters
    Autorzy:
    Błąd, G.
    Szlachta, A.
    Powiązania:
    https://bibliotekanauki.pl/articles/155988.pdf
    Data publikacji:
    2011
    Wydawca:
    Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
    Tematy:
    MEMS
    akcelerometr
    accelerometer
    position measurement
    motion parameters
    Opis:
    W artykule zostało przedstawione opracowanie systemu do pomiaru położenia oraz wyznaczenia parametrów ruchu liniowego poruszających się obiektów z wykorzystaniem czujnika MEMS. System w konfiguracji INS (ang. Inertial Navigation System), jest systemem nawigacji bezwładnościowej, wykorzystuje czujniki, takie jak akcelerometry, żyroskopy i inklinometry do obliczania prędkości, drogi i położenia poruszającego się obiektu. Układ składa się z części sprzętowej dotyczącej m.in. komunikacji mikrokontrolera z czujnikiem przyśpieszenia oraz komputerem, a także interfejsu użytkownika opracowanego w środowisku LabVIEW, który posłużył do prezentacji i obróbki wyników pomiarów.
    The elaborated system for measurement of position and linear motion parameters using MEMS sensor has been presented in this paper. The idea of measuring system has been described in chapter 2. Such system consists of hardware and calculation unit part. Data from sensor ADXL345 (Fig. 3) are transmitted to PC computer using Atmega32 microcontroller. The graphic user interface has been made in LabVIEW environment. It allows to present data and their handling. The practical application was presented in chapter 3 (Fig. 4). The example results of investigations have been shown and discussed in another part of work (Fig. 5). The designed and practically made measuring system has possibility of expanding with another sensors up to full INS system (Inertial Navigation System). It only requires software modification (without hardware inter-ference).
    Źródło:
    Pomiary Automatyka Kontrola; 2011, R. 57, nr 12, 12; 1558-1560
    0032-4140
    Pojawia się w:
    Pomiary Automatyka Kontrola
    Dostawca treści:
    Biblioteka Nauki
    Artykuł
    Tytuł:
    Elektryczny Pojazd Balansujący - realizacja praktyczna
    Balancing Electric Vehicle - practical implementation
    Autorzy:
    Falkowski, P.
    Korzeniewski, M.
    Powiązania:
    https://bibliotekanauki.pl/articles/157920.pdf
    Data publikacji:
    2013
    Wydawca:
    Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
    Tematy:
    Segway
    MEMS
    ARM
    pojazd elektryczny
    LabVIEW
    electric vehicle
    Opis:
    W artykule opisano zasadę działania oraz budowę Elektrycznego Pojazdu Balansującego. Zbudowany pojazd został skonstruowany przez studentów Koła Naukowego Techniki Mikroprocesorowej w Energoelektronice, którzy zostali zainspirowani seryjnie produkowanym pojazdem. W artykule omówiony został zaprojektowany i wykonany układ sterujący, którego głównymi elementami są czujniki MEMS. Przedstawiono w nim opracowany algorytm sterujący pracą silników elektrycznych odpowiedzialnych za poruszanie się pojazdu i utrzymywanie pozycji pionowej.
    This paper presents the Electric Balancing Vehicle, which has been designed based on the standard Personal Transporter produced by Segway®. This vehicle is unstable, because of the fact that its centre of gravity is above the axis of rotation, which causes the effect of an inverted pendulum (Fig. 1). In order to hold the vehicle in a vertical position (Y axis in Fig. 1a), it is necessary to provide the continuous, active regulation by proper control of a torque to the wheels. Fig. 2 shows the block diagram of the control system, where control of the inclination angle is the primary control loop. The method of determining the angle of the platform is shown in Fig. 5. The main part of the vehicle control system (Figs. 3 and 4) is a 32-bit Micro-controller STM32F103 from STMicroelectronis. Its main tasks are: collecting data from voltage and current MEMS sensors, executing the control algorithm (Fig. 2) and controlling the electric motors. The wheel drive uses two DC brushed motors with permanent magnets (each of 750W power), controlled by DC/DC converters (Fig. 6) with the option of returning the energy to batteries during a braking process. The data such as angle and motor currents are sent through a Bluetooth module to a PC and displayed in LabVIEW (Fig. 9).
    Źródło:
    Pomiary Automatyka Kontrola; 2013, R. 59, nr 12, 12; 1285-1288
    0032-4140
    Pojawia się w:
    Pomiary Automatyka Kontrola
    Dostawca treści:
    Biblioteka Nauki
    Artykuł
    Tytuł:
    Doświadczalne wyznaczanie wybranych parametrów akcelerometrów MEMS - wyniki prac badawczych
    Experimental determination of selected parameters of MEMS accelerometers - results of experimental studies
    Autorzy:
    Łuczak, S.
    Powiązania:
    https://bibliotekanauki.pl/articles/153689.pdf
    Data publikacji:
    2011
    Wydawca:
    Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
    Tematy:
    akcelerometr MEMS
    czułość poprzeczna
    histereza
    błędy wyjustowania
    nieprostopadłość osi czułości
    MEMS accelerometer
    misalignment
    cross-axis sensitivity
    perpendicularity of the sensitive axes
    hysteresis
    Opis:
    W artykule przedstawiono problem doświadczalnego wyznaczania najważniejszych parametrów metrologicznych akcelerometrów MEMS. Szczegółowo omówiono zagadnienie justowania akcelerometrów względem stanowiska badawczego. Wskazano na niewyjustowanie akcelerometru jako najistotniejsze źródło błędów wskazań tych przyrządów. Podano wartości niektórych parametrów metrologicznych dla przykładowych akcelerometrów. Odniesiono się do podobnych prac prowadzonych przez różne ośrodki badawcze na świecie.
    paper addresses the issue of determining metrological parameters of MEMS accelerometers in an experimental way. Methodology of performing such studies as well as the related test rig are presented by the author in [1]. Short discussion on similar works carried out by others, reported e.g. in [2-4], [8-10], [14-15], is included. Much attention is paid to the problem of aligning the accelerometer in the test rig. The obtained results proved that misalignment is a factor affecting the sensor accuracy most significantly. That can be clearly observed by comparing the courses in Figs. 2 and 3, where the misalignment almost directly increased the error of sensor indications. Such errors as cross-axis (or transverse) sensitivity, perpendicularity of the sensitive axes and hysteresis are briefly addressed in Sections 4-6. Yet even though magnitudes of these errors are not significant in the case of dual-axis accelerometers that have been tested, it may turn out that it is not so in the case of triaxial accelerometers . It is shown that owing to compensation of systematic errors (such as the cross-axis sensitivity or misalignment) or even elimination of various kinds of errors (e.g. misalignment, errors resulting from the accepted way of calibration) an improvement in sensor performance may be achieved. At the end, some parameters as estimators of the accuracy of MEMS accelerometers are proposed.
    Źródło:
    Pomiary Automatyka Kontrola; 2011, R. 57, nr 11, 11; 1325-1228
    0032-4140
    Pojawia się w:
    Pomiary Automatyka Kontrola
    Dostawca treści:
    Biblioteka Nauki
    Artykuł
    Tytuł:
    Vibration measurements of steel chimneys equipped with mass dampers, using interferometric radar, robotic total station and accelerometer
    Pomiary drgań kominów stalowych wyposażonych w tłumiki masowe, przy użyciu radaru interferometrycznego, tachymetru zrobotyzowanego i przyspieszeniomierza
    Autorzy:
    Kuras, P.
    Ortyl, Ł.
    Kędzierski, M.
    Podstolak, P.
    Powiązania:
    https://bibliotekanauki.pl/articles/155300.pdf
    Data publikacji:
    2014
    Wydawca:
    Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
    Tematy:
    steel chimney
    mass damper
    interferometric radar
    robotic total station
    MEMS accelerometer
    logarithmic decrement of damping
    komin stalowy
    tłumik masowy
    radar interferometryczny
    tachymetr zrobotyzowany
    przyspieszeniomierze MEMS
    logarytmiczny dekrement tłumienia
    Opis:
    The article presents the results of the test measurements performed on the steel chimney during the installation and tuning of two mass dampers. Three surveying devices were used: an interferometric radar, a robotic total station and an accelerometer. The methodology of data processing, the evaluation of the effectiveness of the applied measurement tools for determining vibration frequencies and the logarithmic decrement of damping both without damping and with active dampers were presented.
    W artykule przedstawiono metody pomiaru drgań stalowych kominów przemysłowych (rys. 1), które są coraz częściej stosowane w przemyśle do odprowadzania spalin. Opisano zjawiska powstawania drgań i ich tłumienia (rys. 2), na jakie narażone są tego typu obiekty [1, 8], oraz popularne techniki stosowane do ich pomiaru [3, 5, 7]. Drgania badanego komina, który został wyposażony w dwa tłumiki masowe [2], były mierzone przy użyciu radaru interferometrycznego [6, 9, 10, 11] i tachymetru zrobotyzowanego (rys. 4) oraz przyspieszeniomierza [4]. Wyniki pomiarów były wykorzystywane w trakcie prac terenowych do wykonania poprawnego strojenia tłumików zainstalowanych na szczycie komina (rys. 3). Ponadto posłużyły do określenia przydatności poszczególnych instrumentów do pomiaru drgań. Wyniki opracowano w sposób graficzny (rys. 5 i 6) oraz analityczny, poprzez obliczenie dokładności wpasowania funkcji matematycznej w zbiór obserwacji (tab. 1) oraz częstotliwości drgań (tab. 2) i logarytmicznego dekrementu tłumienia (tab. 3) podczas wykonywanych wzbudzeń. Wszystkie użyte instrumenty wyznaczają poprawne wartości analizowanych charakterystyk dynamicznych komina i w większości przypadków spełniają wymagania normy ISO 4866:2010 w tym zakresie. Wykonane pomiary świadczą o poprawności działania zastosowanych tłumików masowych.
    Źródło:
    Pomiary Automatyka Kontrola; 2014, R. 60, nr 12, 12; 1090-1095
    0032-4140
    Pojawia się w:
    Pomiary Automatyka Kontrola
    Dostawca treści:
    Biblioteka Nauki
    Artykuł
    Tytuł:
    Technologia MEMS w nawigacji i monitoringu pojazdów
    MEMS Sensors in Car Navigation and Car Fleet Management
    Autorzy:
    Uradziński, M.
    Powiązania:
    https://bibliotekanauki.pl/articles/152259.pdf
    Data publikacji:
    2007
    Wydawca:
    Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
    Tematy:
    system GPS
    nawigacja inercjalna
    nawigacja pojazdów
    nawigacja satelitarna
    integracja systemów INS/GPS
    akcelerometr
    żyroskop
    technologia MEMS
    GPS
    inertial navigation
    car navigation
    satellite navigation
    INS/GPS integration
    accelerometer
    gyro
    MEMS sensors
    Opis:
    W artykule przedstawiono najnowocześniejsze rozwiązania konstrukcyjne czujników inercjalnych, stanowiących wraz z systemem GPS zintegrowany system nawigacyjny. Odkąd systemy INS są w stanie pracować w warunkach, w których występuje ograniczony dostęp do sygnału satelitarnego GPS, wydają się być one bardzo dobrym uzupełnieniem i potencjalną alternatywą nawigacyjnych systemów satelitarnych. Trendy w kierunku zintegrowania obu systemów związane są ściśle z uzyskaniem wysokiej dokładności wyznaczanej pozycji, obniżeniem wagi oraz kosztów. Szybki rozwój technologii MEMS na pewno sprosta tym wszystkim wymaganiom i w niedalekiej przyszłości wejdzie zdecydowanie w skład kompletnego systemu nawigacyjnego pojazdu.
    The latest solutions concerning inertial navigation systems are presented in the paper. INS sensors can be easily bounded up with GPS system to build integrated navigation system. Since INS devices can work in situations where there is a GPS signal degradation, they seem to be ideal supplement and potential choice for navigation systems. For certain, this technology will realize all the requirements concerning: getting high accuracy, reducing weight and costs and above all - increasing reliability of working. Fast development of MEMS sensors will for sure be up to all these requirements and in the near future they will be definitely used in complete car navigation system.
    Źródło:
    Pomiary Automatyka Kontrola; 2007, R. 53, nr 11, 11; 50-52
    0032-4140
    Pojawia się w:
    Pomiary Automatyka Kontrola
    Dostawca treści:
    Biblioteka Nauki
    Artykuł
    Tytuł:
    Model mikrokrzemowego czujnika z cewką planarną do pomiaru indukcji pola magnetycznego
    Microsilicon sensor with planar coil for magnetic flux density measurements
    Autorzy:
    Prohuń, T.
    Rybak, M.
    Powiązania:
    https://bibliotekanauki.pl/articles/151445.pdf
    Data publikacji:
    2007
    Wydawca:
    Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
    Tematy:
    MEMS
    MOEMS
    struktury krzemowe
    pomiary indukcji magnetycznej
    silicon microstructures
    magnetic flux density measurements
    Opis:
    W artykule przedstawiono model czujnika do pomiaru indukcji stałego (jednorodnego) pola magnetycznego w postaci belki krzemowej z nanie-sionym płaskim uzwojeniem. Prąd przepływający przez uzwojenie cewki wytwarza strumień oddziałujący z zewnętrznym polem magnetycznym. Koniec belki ulega odkształceniu w kierunku osi z. Kąt ugięcia belki jest miarą indukcji zewnętrznego pola magnetycznego. Do analizy zastosowano metodę elementów skończonych oraz metodę pól sprzężonych ze względu na anizotropowość i niejednorodność struktury krzemowej. W pracy opisano charakterystyki wyjściowe czyli kąta ugięcia belki w funkcji indukcji B zewnętrznego pola magnetycznego. Przeanalizowano wpływ wymiarów geometrycznych belki na jej ugięcie.
    In the article a magnetic flux density sensor was described. The sensor consist of silicon cantilever and planar coil. Current flowing by the coil produce magnetic flux around the coil. Influence of magnetic flux with external magnetic field causes cantilever deform. The angle of cantilever deformation in z axis means external magnetic field induction. In cause of magnetic anisotropy and heterogeneous of analyzed silicon structure the FEM method and couple field method was applied in simulation. The influence of dimensions of beam on beam-end deformation was described.
    Źródło:
    Pomiary Automatyka Kontrola; 2007, R. 53, nr 9, 9; 78-80
    0032-4140
    Pojawia się w:
    Pomiary Automatyka Kontrola
    Dostawca treści:
    Biblioteka Nauki
    Artykuł
    Tytuł:
    Modelowanie przestrzennego rozkładu pola magnetycznego przetwornika elektromagnetycznego do pomiaru indukcji zewnętrznego pola magnetycznego
    Modeling 3D magnetic field of magnetic flux density sensor
    Autorzy:
    Prohuń, T.
    Gołębiowski, J.
    Powiązania:
    https://bibliotekanauki.pl/articles/157380.pdf
    Data publikacji:
    2007
    Wydawca:
    Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
    Tematy:
    MEMS
    MOEMS
    struktury krzemowe
    pomiary indukcji magnetycznej
    silicon microstructures
    magnetic flux density measurements
    Opis:
    W referacie przedstawiono model czujnika do pomiaru indukcji pola magnetycznego w postaci belki krzemowej z naniesionym płaskim uzwojeniem. Prąd przepływający przez uzwojenie cewki wytwarza strumień oddziałujący z zewnętrznym polem magnetycznym. Koniec belki ulega odkształceniu w kierunku osi z. Kąt ugięcia belki jest miarą indukcji zewnętrznego pola magnetycznego. Model czujnika składa się z belki wykonanej z krzemu monokrystalicznego oraz płaskiego uzwojenia wykonanego z aluminium. Ze względu na wielowarstwową, anizotropową budowę przetwornika do budowy modelu zastosowano metodę elementów skończonych (metodą pól sprzężonych i oprogramowanie COMSOL). W referacie pokazano rozkład przestrzennego pola magnetycznego cewki płaskiej i jego wpływ na zewnętrzne (mierzone) pole magnetyczne. W pracy przedstawiono wyniki symulacji dla różnych wartości parametrów konstrukcyjnych przetwornika w celu uzyskania zakładanej czułości dla wybranego zakresu pomiarowego indukcji zewnętrznego pola magnetycznego.
    In the article a magnetic flux density sensor was described. The sensor consist of silicon cantilever and planar coil. Current flowing by the coil produce magnetic flux around the coil. Influence of magnetic flux with external magnetic field causes cantilever deform. The angle of cantilever deformation means external magnetic field induction. The influence of shape and dimensions of planar coil on magnetic energy density was described. In cause of magnetic anisotropy and heterogeneous of analyzed silicon structure the FEM method and couple field method was applied in simulation.
    Źródło:
    Pomiary Automatyka Kontrola; 2007, R. 53, nr 9 bis, 9 bis; 265-268
    0032-4140
    Pojawia się w:
    Pomiary Automatyka Kontrola
    Dostawca treści:
    Biblioteka Nauki
    Artykuł
    Tytuł:
    Model przetwornika elektromagnetycznego zastosowanego w krzemowym czujniku drgań mechanicznych
    Modelling of the Electromagnetic Transducer for Silicons Vibrations Sensor
    Autorzy:
    Rybak, M.
    Gołębiowski, J.
    Powiązania:
    https://bibliotekanauki.pl/articles/154931.pdf
    Data publikacji:
    2007
    Wydawca:
    Stowarzyszenie Inżynierów i Techników Mechaników Polskich
    Tematy:
    MEMS
    mikrostruktury krzemowe
    drgania mechaniczne
    czujniki Halla
    MES
    silicon microstructures
    vibration measurement
    Hall sensors
    FEM
    Opis:
    W zastosowanej konstrukcji przetwornika na powierzchni cienkiej belki krzemowej umieszczono uzwojenie w postaci cewki płaskiej. Płynący przez przetwornik prąd elektryczny wytwarza pole magnetyczne, które oddziałuje na umieszczony w pobliżu hallotron. Drgania obiektu wywołują zmianę położenia przetwornika względem hallotronu, co powoduje zmianę sygnału wyjściowego. W pracy przebadano wpływ parametrów konstrukcyjnych przetwornika na wartość indukcji pola magnetycznego w hallotronie. Do analizy rozkładu pola magnetycznego zastosowano metodę elementów skończonych (program ANSYS).
    The construction of the rectangular silicon beam with mass and the by electromagnetic transducer was described. In the silicon microsystem aluminium electrodes pattern on the beam surface was applied. The current flow by electromagnetic transducer produce magnetic field. Transducer magnetic field influence on Hall sensor. The beam vibrations caused change distance between transducer position by Hall sensor. The analysis of distribution magnetic field was presented. The method of the finite elements was applied to the analysis of the microsystem. The results for the electromagnetic transducer, which were calculated by means of ANSYS programme are presented and discussed.
    Źródło:
    Pomiary Automatyka Kontrola; 2007, R. 53, nr 9 bis, 9 bis; 605-608
    0032-4140
    Pojawia się w:
    Pomiary Automatyka Kontrola
    Dostawca treści:
    Biblioteka Nauki
    Artykuł
      Wyświetlanie 1-12 z 12

      Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies