- Tytuł:
-
Wpływ parametrów nanoszenia warstw TiO2 metodą ALD na ich adhezję do metalicznego podłoża
Study of influence parameters application layers TiO2 by ALD method on their adhesion to the mettalic substrate - Autorzy:
-
Wnętrzak, K.
Basiaga, M. - Powiązania:
- https://bibliotekanauki.pl/articles/99366.pdf
- Data publikacji:
- 2016
- Wydawca:
- Politechnika Śląska. Katedra Biomechatroniki
- Tematy:
-
stal 316 LVM
TiO2
ALD
Scratch test
316 LVM steel - Opis:
-
W niniejszej pracy badano wpływ parametrów nanoszenia warstw TiO2 metodą ALD na ich adhezję do metalicznego podłoża. Warstwa TiO2została naniesiona na próbki wykonane ze stali nierdzewnej 316 LVM polerowane elektrochemicznie oraz mechanicznie. Warstwy nanoszono z wykorzystaniem różnych zespołów parametrów nanoszenia, jakimi były zmienna ilość cykli nanoszenia oraz zmienna temperatura procesu. W celu badania adhezji naniesionych warstw do podłoża wykorzystano metodę scratch test. Podsumowując, badania wykazały, że najkorzystniejszym zespołem własności mechanicznych charakteryzowały się warstwy TiO2naniesione na stal 316 LVM metodą ALD w temperaturze 300°C w czasie 500 cykli.
In this study have been investigated influence of parameters applying layers of TiO2by ALD method on their adhesion to the metal substrate. TiO2 layers was applied on the samples made of stainless steel 316 LVM polished electrochemically and mechanically. To deposition layers was using different combination of parameters, which as first were a variable number of cycles of application and variable temperature of process. Next was tested adhesion to the substrate by use of scratch test. The results of studies shown that the best values of mechanical properties characterized samples with layer of TiO2 deposited on stainless steel by ALD method at temperature 300°C with 500 cycles. - Źródło:
-
Aktualne Problemy Biomechaniki; 2016, 10; 85-90
1898-763X - Pojawia się w:
- Aktualne Problemy Biomechaniki
- Dostawca treści:
- Biblioteka Nauki
Artykuł