In this paper, a robust method to analyse a simple model of a RF (Radio Frequency) MEMS (Micro Electro-Mechanical Systems) capacitive switch is depicted. The method is based on multi-physics phenomenons and interdependencies between different physics domains. A component, which enables to link variety of the physics domains is an electrical equivalent circuit. Such equivalent circuit has been created in LTSpice software, which is a freeware circuits simulator. This electrical equivalent schematic enables to run static, frequency domain, transient analysis. The presented method enables simultaneous simulations in an electrical, mechanical and electro-mechanical domain. Obtained results were verified by the comparison with the results of a commercial software, a scientific software and data from literature. The method, presented in the paper gives robust, accurate results in the one-dimensional analysis domain of simple mechanical resonators, which are simplified mechanical models of the RF MEMS capacitive switches.
Ta witryna wykorzystuje pliki cookies do przechowywania informacji na Twoim komputerze. Pliki cookies stosujemy w celu świadczenia usług na najwyższym poziomie, w tym w sposób dostosowany do indywidualnych potrzeb. Korzystanie z witryny bez zmiany ustawień dotyczących cookies oznacza, że będą one zamieszczane w Twoim komputerze. W każdym momencie możesz dokonać zmiany ustawień dotyczących cookies
Informacja
SZANOWNI CZYTELNICY!
UPRZEJMIE INFORMUJEMY, ŻE BIBLIOTEKA FUNKCJONUJE W NASTĘPUJĄCYCH GODZINACH:
Wypożyczalnia i Czytelnia Główna: poniedziałek – piątek od 9.00 do 19.00