Stabilizacja wybranych parametrów strumienia termoelektronów w gazowych źródłach jonów

W pracy przedstawiono przegląd rozwiązań stosowanych w próżniomierzach jonizacyjnych i spektrometrach mas wykorzystujących strumień termoelektronów do jonizacji materii w postaci gazowej, w szczególności przykłady konstrukcji źródeł jonów oraz układów polaryzacji ich elektrod. Na podstawie wyników przeprowadzonej analizy zaproponowano nowy sposób detekcji prądu termoemisji elektronowej dla układów stabilizacji natężenia strumienia i energii elektronów.

This paper presents an overview of the vacuum measurement instruments using electron - impact gas ion sources, especially examples of the ion sources and biasing systems. Based on the analysis results a new thermionic emission current detection method to implementation in stabilizer of ionizing beam intensity and electron energy has been proposed.